[實用新型]一種雙等離子體離子源及設備

有效

• 申請號: 201320353540.9
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203367222U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 龍濤;曾小輝;王培智;包澤民;陶強;范潤龍
• 申請（專利權）人: 中國地質科學院地質研究所
• 主分類號: H01J49/10
• 分類號: H01J49/10
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種雙等離子體離子源，其特征在于，所述雙等離子體離子源的中間電極的錐形的一端的頂部設有多個中間電極孔，所述多個中間電極孔的半徑位于0.2mm-0.3mm范圍內，其圓心位于以所述中間電極的錐形的一端的頂部中心為圓心、半徑為0.5mm的圓上。

2.如權利要求1所述的雙等離子體離子源，其特征在于，還包括位于所述雙等離子體離子源的抽取電極內部的空心部分、控制離子束的飛行路徑的偏轉板；所述偏轉板通過絕緣部件固定于所述抽取電極內部的空心部分，由四個互不相連的矩形極板構成，且四個極板以所述抽取電極的軸線對稱分布，四個極板兩兩一組，每組兩個極板平行，兩組間的的任意兩個極板之間垂直，并且所述四個極板在所述抽取電極的軸線上的投影位置相同。

3.如權利要求2所述的雙等離子體離子源，其特征在于，所述絕緣部件為陶瓷片。

4.如權利要求1所述的雙等離子體離子源，其特征在于，所述多個中間電極孔具體為四個，其半徑為0.3mm。

5.如權利要求1或4所述的雙等離子體離子源，其特征在于，所述多個中間電極孔均勻分布。

6.如權利要求1所述的雙等離子體離子源，其特征在于，所述中間電極的錐形的一端的頂部和陽極電極之間的距離位于2mm-3mm范圍內。

7.如權利要求6所述的雙等離子體離子源，其特征在于，所述中間電極的錐形的一端的頂部和陽極電極之間的距離具體為2.5mm。

8.如權利要求1所述的雙等離子體離子源，其特征在于，所述雙等離子體離子源的磁場源為電磁鐵。

9.一種質譜儀，其特征在于，包括如權利要求1-8任一所述的雙等離子體離子源。