[實用新型]一種單晶片型壓電驅動振子

有效

• 申請號: 201320352472.4
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203398165U
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 王素貞
• 申請（專利權）人: 重慶中鐳科技有限公司
• 主分類號: H01L41/09
• 分類號: H01L41/09;H01L41/053
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于工業控制、執行器等領域，特別涉及壓電泵和壓電閥體的一種壓電驅動振子的構造。?

背景技術

隨著電子技術的發展，采用壓電技術形成的逆壓電效應，形成的開關閥體或氣體液體輸送功能，作為智能控制的核心控制元件使用。壓電泵是多采用簡支梁壓電驅動振子，利用壓電晶片的逆壓電效應，驅動整個壓電驅動振子的彎張振動變形來改變壓電驅動振子與殼體之間形成容積室的體積，實現氣體液體連續負壓吸入和加壓排出。而壓電閥多采用懸臂梁壓電驅動振子，在壓電晶片逆壓電效應的作用下，驅動整個壓電驅動振子的自由端運動，從而實現開關閥體的功能。?

一般情況下單晶片型壓電驅動振子的墊片材料采用黃銅片、鈹青銅片、不銹鋼片、或有機高分子材料等，而上述材料是不透明體。壓電驅動振子粘接層的固化過程一般采用熱固化工藝，由于在熱固化過程中，固化膠揮發產生的氣體形成氣泡致使驅動振子粘接層局部區域粘接失效，致使壓電驅動振子在使用過程中不能均勻變形而產生應力變形，最終導致器件斷裂、擊穿或疲勞失效。另外，由于壓電驅動振子粘接過程中墊片的不透明性，在測試中難以判斷是否存在固化缺陷情況，致使壓電驅動振子的粘接性能難以直觀判定，增加所生產器件的制作難度。?

發明內容

本實用新型的目的就是為克服上述背景技術的不足，提供一種單晶片型壓電驅動振子的構造，有效解決壓電驅動振子粘接層固化膠熱固化過程中揮發產生的氣體形成氣泡致使驅動振子粘接層局部區域粘接失效，解決壓電振粘接效果的直觀檢測問題，提高產品的壽命及疲勞失效問題，降低產品生產工藝難度。?

本實用新型的技術方案是：一種單晶片型壓電驅動振子，包括壓電體1、中間的粘接層2、墊片3，壓電體1采用PZT等壓電材料，其特征在于：墊片3是由不同于壓電體1材質的透明高分子材料或透明無機非金屬材料組成的，其厚度為0.1-5.0mm，壓電體1、墊片3之間通過采用紫外曝光固化的粘接層2固定連接在一起。?

采用單壓電晶片型壓電驅動振子，可按一定的周期或單獨指令的工作電壓驅動壓電動驅動振子實現單邊工作。?

本發明具有制作過程中不易產生應力，工作過程穩定可靠等優點。?

附圖說明

圖1為單晶片型電驅動振子的紫外曝光固化粘接示意圖?

上述圖中：1.壓電體；2.粘接層；?3.墊片；4.紫外曝光機上蓋；5.紫外曝光機支撐板；6.紫外曝光機下殼體；7.紫外光源。

具體實施方式

下面通過實施例，并結合附圖，對本發明的技術方案作進一步具體的說明。?

實施例1

實施例1的單晶片型壓電驅動振子采用紫外固化環氧樹脂粘接的PMMA樹脂墊片制造的，如圖1所示：單晶片型壓電驅動振子由壓電體1、中間的粘接層2、墊片3組成。本實施例的粘接層2采用粘接樹脂-陶瓷類的紫外曝光固化環氧膠。

單晶片型壓電驅動振子各部件粘接連接的過程如下：首先在防紫外光環境下，在壓電體1和PMMA樹脂墊片上涂敷粘接樹脂-陶瓷類的紫外曝光固化環氧膠，并采用甩干機流平，形成厚度均勻的樹脂膠層，并靜置一段時間，讓一些揮發性物質揮發出去；然后將壓電體1與PMMA樹脂墊片重疊起來，放置在紫外曝光機支撐板5上，然后蓋上紫外曝光機上蓋4，向壓電振子施加壓力P，最后開起紫外曝光燈使粘接樹脂-陶瓷類的紫外曝光固化環氧膠在紫外線及壓力下固化，固化時間3-5min。固化完成后，可直觀檢查壓電驅動振子是否存在固化氣泡、固化空洞、固化裂紋等缺陷。?

實施例2

實施例2的單晶片型壓電驅動振子采用紫外固化環氧樹脂粘接的熔融石英玻璃片制造的，如圖1所示：單晶片型壓電驅動振子由壓電體1、中間的粘接層2、墊片3組成。本實施例的粘接層2采用無機透明材料－陶瓷類的紫外曝光固化環氧膠，其粘接連接過程同實施例1。

采用本發明所述的壓電振子構造制作的單晶片型壓電驅動振子，有效解決了壓電振子粘接層2固化時揮發產生的氣體形成的氣泡而致使局部區域粘接失效問題，解決壓電振子粘接過程的缺陷檢測有效性問題，提高產品的一致性，提高產品的壽命及疲勞失效問題。用透明高分子材料墊片制備的壓電驅動振子組裝壓電泵等產品性能良好，用高剛度無機透明材料制備的壓電驅動振子制備的單向壓電開關閥等產品，可靠性高，動作精準一致，壽命更長。?