[實用新型]一種基于微機械間接熱電式功率傳感器的鎖相環

有效

• 申請號: 201320352457.X
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203313158U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 廖小平;楊國
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: H03L7/085
• 分類號: H03L7/085
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種基于微機械間接熱電式功率傳感器的鎖相環，其特征在于：包括襯底（1）、設置在襯底（1）上的功合器和MEMS間接式微波功率傳感器、以及外接的壓控振蕩器，在襯底（1）上定義一條對稱軸線；所述功合器形成沿對稱軸線對稱的結構，包括地線（2）、共面波導傳輸線（3）、兩段不對稱共面帶線（4）、隔離電阻（5）、兩組固支梁（12）和錨區（13）；所述MEMS間接式微波功率傳感器包括兩組終端電阻（6）、金屬熱偶臂（7）、半導體熱偶臂（8）、金屬連接線（9）和兩個直流輸出塊（10）；

所述地線（2）形成沿對稱軸線對稱的結構，包括對稱位于對稱軸線兩側且不相接觸的兩段側邊地線、對稱位于對稱軸線上的一段公共地線；

所述共面波導傳輸線（3）形成沿對稱軸線對稱的結構，包括位于對稱軸線兩側且不相連接的兩段輸入共面波導傳輸線、對稱位于對稱軸線上的一段輸出共面波導傳輸線；所述兩段輸入共面波導傳輸線分別與兩段不對稱共面帶線（4）輸入端相連接；所述兩段不對稱共面帶線（4）輸入端通過隔離電阻（5）隔離，所述兩段不對稱共面帶線（4）輸出端相連接后接入輸出共面波導傳輸線；所述兩段不對稱共面帶線（4）和隔離電阻（5）形成沿對稱軸線對稱的結構；所述兩段輸入共面波導傳輸線分別作為參考信號輸入端口和反饋信號輸入端口，所述輸出共面波導傳輸線作為信號輸出端口；

所述兩組固支梁（12）分別設置在對稱軸線的兩側且相對對稱軸線對稱，所述固支梁（12）跨接在位于同一側的輸入共面波導傳輸部分的上方，兩端分別通過錨區（13）固定在位于同一側的地線（2）側邊地線和公共地線上；

所述輸出共面波導傳輸線分別與兩段側邊地線通過一組終端電阻（6）相連接，所述兩組終端電阻（6）分別對應設置有一組熱電偶；所述兩組熱電偶的一端通過金屬連接線（9）串聯連接，另一端分別通過金屬連接線（9）與直流輸出塊（10）相連接；其中一個直流輸出塊（10）與壓控振蕩器的輸入端相連接，另一個直流輸出塊（10）接地；所述熱電偶由金屬熱偶臂（7）和半導體熱偶臂（8）組成；

所述壓控振蕩器的輸出端與反饋信號輸入端口相連。

2.根據權利要求1所述的一種基于微機械間接熱電式功率傳感器的鎖相環，其特征在于：所述共面波導傳輸線（3）和固支梁（12）之間設有氮化硅介質層（11），所述氮化硅介質層（11）覆蓋在共面波導傳輸線（3）上。