[實用新型]一種帶閉環控制系統的微機電干涉平臺

有效

• 申請號: 201320351461.4
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN203350529U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 蘭樹明;謝會開;陳巧;王元光;王衛喜;周正偉
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：包括光路系統和閉環控制電路系統（1）；?

所述光路系統包括激光光源（2）、第一分光鏡（3）、第二分光鏡（5）、第一微鏡（6）、第一四象限探測器（4）、第三分光鏡（11）、第二微鏡（9）、第二四象限探測器（12）；?

第一分光鏡（3）用于把激光光源（2）發出的一束激光分成相同的兩束光，一束打在第二分光鏡（5）上，一束打在第三分光鏡（11）上；?

第二分光鏡（5）用于將一束光分成相同的兩束光，一束打在第一微鏡（6）上，一束打在外部吸收，第一微鏡（6）反射后的光打在第一四象限探測器（4）上；?

第三分光鏡（11）用于將一束光分成兩束光，一束打在第二微鏡（9）上，一束打在外部吸收，第二微鏡（9）反射的光打在第二四象限探測器（12）上；?

所述閉環控制電路系統（1）包括數據處理模塊（102），信號整形模塊（104），光電轉換模塊（105）和數據轉換模塊（103）；?

所述數據處理模塊（102）是程序運算的中心，負責算法的運行和功能調度；?

所述信號整形模塊（104）用于將采集到的光電信號和驅動信號調整到合適的范圍；?

所述光電轉換模塊（105）是將四象限探測器檢測的光信號轉換為電信號；?

所述數據轉換模塊（103）是將光電轉換模塊（105）輸出的模擬信號采集到數據處理模塊（102）內部進行數據分析處理，以及將數字信號轉換成模擬電壓信號用于驅動作為動鏡的微鏡。?

2.根據權利要求1所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：還包括機械固定裝置（13），所述機械固定裝置（13）包括硅基座（15）、硅基轉接板（16）、機械基座（17）、防震墊（18）和外殼（20）；?

所述機械基座（17）底部與外殼（20）底部受力點，外殼（20）與外界接觸受力點均采用軟接觸式方式；?

所述硅基座（15）刻有第一微鏡（6）固定槽、第二微鏡（9）固定槽、立方棱鏡固定槽（8）和焊盤（10）。?

3.根據權利要求2所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：所述第一微鏡（6）和第二微鏡（9）通過插裝的方式植入硅基座（15）卡槽內，其焊盤通過導電膠連接到硅基座（15）的焊盤（10）上。?

4.根據權利要求2所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：所述激光光源（2）、第一分光鏡（3）和第二分光鏡（5）分別置于機械基座（17）的卡槽內部。?

5.根據權利要求1所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：所述閉環控制電路系統（1）還包括安全保護模塊（101）。?

6.根據權利要求1所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：所述數據轉換模塊（103）分為數模轉換模塊和模數轉換模塊。?

7.根據權利要求1所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：所述第一微鏡（6）和第二微鏡（9）可以是垂直大位移MEMS微鏡。?

8.根據權利要求1所述的帶閉環控制系統的微機電干涉平臺，其特征在于：所述第一微鏡（6）和第二微鏡（9）為固定鏡或動鏡，也可以全部為動鏡。?