[實用新型]高純度三氯氧磷安全供料系統

有效

• 申請號: 201320351139.1
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203307042U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 向東;舒驍驥;潘先偉
• 申請（專利權）人: 向東
• 主分類號: B67D99/00
• 分類號: B67D99/00
• 代理公司: 徐州市淮海專利事務所 32205
• 代理人: 胡亞輝

技術領域

本實用新型涉及一種三氯氧磷安全供料設備，尤其是在太陽能電池片擴散工藝中使用的高純度三氯氧磷安全供料設備。

背景技術

高純度三氯氧磷（99.9999%~99.99999%）是太陽能電池片制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一，主要用于太陽能電池片的N型摻雜，它的純度和潔凈度對太陽能電池片的成品率，電性能及可靠性都有著十分重要的影響，但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。中國專利CN202546241U公開了一種高純度三氯氧磷安全供料系統，其結構是：恒溫箱內的高純度三氯氧磷儲運罐連接有氮氣進氣管和氮氣出氣管，恒溫箱上有溫度數顯儀表，氮氣進氣管一端插入高純度三氯氧磷儲運罐的底部，另一端連接有氮氣閥。上述系統徹底杜絕了高純度三氯氧磷遇水產生的爆炸危險，提高了高純度三氯氧磷使用過程中的安全性，減少了高純度三氯氧磷使用方的生產、維護成本和高純度三氯氧磷供應方的物流成本，但是該系統的缺陷是無法對高純度三氯氧磷的使用現場實行遠程監控和物料液位的精確監控；無法對高純度三氯氧磷出現泄漏時及時報警和處理；當人為誤操作時（開啟氮氣氣閥門沒有開啟出氣閥門）發生氮氣泄壓無法進行處理，因此，存在著各種生產安全隱患，生產安全性和工作效率不高。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單、安全可靠、高效率、無泄漏、無污染、使用方便、運行成本低的高純度三氯氧磷安全供料系統。????????

本實用新型的目的這樣實現的：供料裝置上有溫度數顯儀表，供料裝置內有高純度三氯氧磷儲罐，連接有氮氣進氣閥的氮氣進氣管一端插入高純度三氯氧磷儲罐底部，在供料裝置外的另一端連接有氮氣閥，連接有氮氣出氣閥的氮氣出氣管一端插入高純度三氯氧磷儲罐頂部，另一端在在供料裝置外，供料裝置上設置有尾氣自動排風口，供料裝置內壁的上部安裝有高純度三氯氧磷氣體泄漏檢測報警器，內壁的中部安裝有視頻監控攝像頭，內壁的下部安裝有低液位監測報警器，并與供料裝置上的電腦端口連接，供料裝置內底部裝有LED照明燈，供料裝置的正面有觀察窗。

供料裝置內的氮氣進氣管上連接有泄壓閥。

供料裝置內的氮氣進氣管和氮氣出氣管之間連接有泄壓閥。

由于本實用新型采用以上結構，增強了操作使用的連續性和智能化控制；解決了高純度三氯氧磷使用時在意外情況下出現泄漏時的報警及處理措施；解決了在人為誤操作時（開啟氮氣氣閥門沒有開啟出氣閥門）氮氣泄壓問題；解決了高純度三氯氧磷使用時的現場及遠程監控、物料液位監控問題。

附圖說明

圖1為本實用新型第一實施例的結構示意圖。

圖2為本實用新型第二實施例的結構示意圖。

圖中1供料裝置、2高純度三氯氧磷儲罐、3溫度數顯儀表、4氮氣進氣管、5氮氣出氣管、6氮氣進氣閥、7氮氣出氣閥、8氮氣閥、9低液位監測報警器、10高純度三氯氧磷氣體泄漏檢測報警器、11尾氣自動排風口、12泄壓閥、13電腦端口、14視頻監控攝像頭、15LED照明燈、16觀察窗。

具體實施方式

第一實施例：供料裝置1上有溫度數顯儀表3，供料裝置1內有高純度三氯氧磷儲罐2，連接有氮氣進氣閥6的氮氣進氣管4一端插入高純度三氯氧磷儲罐2底部，在供料裝置外的另一端連接有氮氣閥8，連接有氮氣出氣閥7的氮氣出氣管5一端插入高純度三氯氧磷儲罐2頂部，另一端在在供料裝置1外，供料裝置1上設置有尾氣自動排風口11，供料裝置1內壁的上部安裝有高純度三氯氧磷氣體泄漏檢測報警器10，內壁的中部安裝有視頻監控攝像頭14，內壁的下部安裝有低液位監測報警器9，并與供料裝置1的電腦端口13連接，供料裝置的正面有觀察窗16，供料裝置1內的氮氣進氣管4上連接有泄壓閥12，供料裝置內底部裝有LED照明燈15。

供料裝置1依靠空氣作為熱交換介質，恒定溫度的精確度在±0.1℃、均勻度在0.3℃，能精確地恒定溫度。高純度三氯氧磷儲罐2罐體和閥門均為高純可熔性聚四氟乙烯（PFA）材質，閥門采用旋塞閥、閥門與管道采用擴口連接，密閉性好，操作簡便、閥位指示明確。高純度三氯氧磷儲罐2中氮氣進氣管4一端插入高純度三氯氧磷儲罐2底部，另一端連接有氮氣閥8，之間接有泄壓閥12，泄壓出的氮氣進入裝置排風系統，在使用過程中即使出現誤操作也不會造成高純度三氯氧磷儲罐2罐體或閥門的損壞。供料裝置1內設置三氯氧磷氣體泄漏檢測報警10器、低液位監測報警器9、視頻監控攝像頭10、LED照明燈15，可遠程觀察物料的使用情況，實現在線集中監測。