[實用新型]用于清洗工藝腔的背板以及工藝腔的清洗裝置

有效

• 申請號: 201320351011.5
• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN203284460U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 張宇;楊遠江;黃斗冬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種用于清洗工藝腔的背板，所述背板呈矩形，所述背板的中間設置有進氣口，其特征在于：所述背板的四個角也均設置有進氣口。

2.一種工藝腔的清洗裝置，其特征在于：包括氣體發生器和權利要求1所述的背板，所述氣體發生器的出氣口與所述背板上的各個進氣口相連通。

3.根據權利要求2所述的清洗裝置，其特征在于：所述氣體發生器的出氣口通過六通管與所述背板上的各個進氣口相連通；

所述六通管具有相互連通的六個端口，其中一個端口連接所述氣體發生器的出氣口，另一個端口連接位于所述背板的中間的進氣口，其余四個端口分別通過管路連接位于所述背板的四個角的進氣口。

4.根據權利要求2或3所述的清洗裝置，其特征在于：所述氣體發生器的出氣口還設置有射頻電源。