[實用新型]一種單晶硅棒存儲裝置

有效

• 申請號: 201320348244.X
• 申請日: 2013-06-15
• 公開（公告）號: CN203449296U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 葉欣;朱亮;沈文杰;孫明;周建燦
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B25H3/00
• 分類號: B25H3/00;G01B7/02;G01B11/00;G01B11/24
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種單晶硅棒存儲裝置，包括支撐柱；其特征在于，在支撐柱上安裝有底板，一對長條形的上面板相互平行地安裝于底板上，兩個上面板的相對側分別設置滾輪支架；滾輪支架上裝有滾輪，兩邊的滾輪對向安裝且相互之間留有間距；在位于兩個上面板之間的底板上，還安裝有用于測量單晶硅棒長度的氣缸；氣缸的運動部位是一個能夠沿底板長度方向運行的方形平臺，其上部安設有撞塊，并在側面設有位移傳感器；在與方形平臺相對一端的底板上設端面擋柱，端面擋柱上設有作為單晶硅棒長度測量零點的固定支點；在底板和上面板的兩側相對裝有單晶硅棒檢測傳感器支架，單晶硅棒檢測傳感器支架上設有用于檢測單晶硅棒尺寸和形狀的傳感器。

2.根據權利要求1所述的單晶硅棒存儲裝置，其特征在于，所述滾輪支架呈長條形，其橫向截面呈折線形狀；滾輪支架沿長度方向安裝于上面板的表面，所述滾輪安裝于滾輪支架的彎折部位。

3.根據權利要求1或2所述的單晶硅棒存儲裝置，其特征在于，所述滾輪為外部包有橡膠的軸承，其數量為2N個，N為大于1的整數；滾輪有兩種形式：A、滾輪的橡膠外圈為平面，用于支撐方形單晶硅棒；B、滾輪的橡膠外圈為弧面，用于支撐圓形單晶硅棒。

4.根據權利要求1或2所述的單晶硅棒存儲裝置，其特征在于，所述氣缸為磁偶式氣缸。

5.根據權利要求1或2所述的單晶硅棒存儲裝置，其特征在于，所述位移傳感器為磁位移傳感器。

6.根據權利要求1或2所述的單晶硅棒存儲裝置，其特征在于，所述用于檢測單晶硅棒尺寸和形狀的傳感器為光纖式激光傳感器。