[實用新型]多功能磁控濺射鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201320347728.2
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN203270024U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 董志良;楊林生
• 申請（專利權）人: 合肥力恒液壓系統有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101
• 代理人: 何梅生;胡東升

1.多功能磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于包括：

真空室（1）以及可拆裝地連接在所述真空室（1）頂部的頂蓋（2）；

固聯在所述頂蓋（2）上并懸置于所述真空室內的連接桿（3），可轉動、可升降地套接在所述連接桿（3）下端的基片架（31），多個基片載體（11）設置在位于基片架（3）底部的圓盤（10）的底面上，所述多個基片載體處于同一圓周上，位于所述圓盤（10）的上方并與所述基片載體相對應的位置上，設置有加熱裝置（12）；

在所述真空室內腔底部與所述基片載體（11）相對應的位置上，設置有處于同一圓周上的多個磁控濺射靶（5），各所述磁控濺射靶的上部的靶頭（13）和真空室主軸的夾角在0—45°可調，在所述磁控濺射靶上位于所述靶頭的下方設置有可翻轉的濺射擋板（18）。

2.根據權利要求1所述的多功能磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，在所述真空室的側部設有擴展接口（4）；設置可通過所述擴展接口（4）伸入所述真空室內腔的機械手，所述機械手包括：水平導軌（23）、可沿所述水平導軌（23）滑動的滑塊（24）、豎向固設于所述滑塊上的垂直推板（22）、水平固聯在所述垂直推板上端的運動軸（19），在所述運動軸的前端外部套接有第二波紋管（20），所述運動軸的末端固聯有磁流體（21）。

3.根據權利要求1所述的多功能磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，所述頂蓋（2）與所述真空室（1）的頂部之間設置有密封圈，并且頂蓋與真空室之間采用卡鉗連接固定。

4.根據權利要求1所述的多功能磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，在所述圓盤（10）的底面中心還設置有一個基片載體（11）。

5.根據權利要求1所述的多功能磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，所述真空室（1）為前開門形式，所述前開門（6）與真空室本體之間采用鉸鏈連接并通過卡鉗鎖緊，在所述前開門的中心設有觀察窗。

6.根據權利要求1所述的多功能磁控濺射鍍膜裝置，其特征在于，所述連接桿（3）的頂端位于所述頂蓋（2）的頂面固設有大磁流體（7）。