[實(shí)用新型]一種提高方阻均勻性的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320347662.7
• 申請(qǐng)日: 2013-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203325958U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許文鳳;郭興剛;錢(qián)昆;賈靜;呂高龍;陳龍;張滿良;梁漢杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 奧特斯維能源（太倉(cāng)）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/22
• 代理公司: 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 劉燕嬌

1.一種提高方阻均勻性的裝置，其特征在于：包括位于擴(kuò)散爐管內(nèi)的進(jìn)氣球碗，所述進(jìn)氣球碗包括進(jìn)氣端、球碗部分和排氣端，所述進(jìn)氣端和球碗部分相互連通，所述排氣端呈U型，其一端端口封閉，另一端端口與所述球碗部分連接，在排氣端與球碗部分的連接處設(shè)有閥門(mén)，排氣端的側(cè)壁上設(shè)有孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高方阻均勻性的裝置，其特征在于：所述排氣端側(cè)壁上孔的個(gè)數(shù)為4個(gè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高方阻均勻性的裝置，其特征在于：所述排氣端具有兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁，4個(gè)孔位于其中一個(gè)側(cè)壁上，或分別位于兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高方阻均勻性的裝置，其特征在于：所述閥門(mén)與排氣端封閉一端端口的距離為15-20mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高方阻均勻性的裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣球碗的長(zhǎng)度為200mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高方阻均勻性的裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣端的長(zhǎng)度為31.5mm。