[實用新型]一種多晶硅C角毛刷拋光機

有效

• 申請號: 201320346755.8
• 申請日: 2013-06-18
• 公開（公告）號: CN203357184U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 吳建飛
• 申請（專利權）人: 南通綜藝新材料有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

技術領域

本實用新型涉及一種多晶硅C角毛刷拋光機，屬于多晶硅材料加工領域。

背景技術

多晶硅棒經過砂輪倒角后，邊緣表面有稜角毛刺崩邊甚至有裂縫或其它缺陷，邊緣表面比較粗糙，需要另外工序對其進行拋光加工，傳統的拋光工藝精度無法保證，而且拋光質量也不高。

實用新型內容

本實用新型通過一個毛刷來取代傳統倒角機的砂輪機構，從而實現多晶硅C角的高精度高光滑度的打磨。

本實用新型是通過如下方法實現的：

一種多晶硅C角毛刷拋光機，用于打磨加工多晶硅；包括V形槽、拋光頭、轉動軸，所述拋光頭設置在V形槽的底部，且拋光頭與轉動軸的動力輸出端聯動連接，所述拋光頭包括轉動盤和毛刷，所述毛刷設置在轉動盤上，所述轉動盤和轉動軸固定連接。

作為本實用新型的進一步創新，一種多晶硅C角毛刷拋光機，所述毛刷包括柱狀底部支座和刷頭，所述刷頭通過柱狀底部支座與轉動盤固定連接。

作為本實用新型的進一步創新，所述轉動盤上設置有若干相對于轉動圓盤圓心環形等距排布的安裝孔，所述毛刷通過柱狀底部支座安裝在安裝孔內。

作為本實用新型的進一步創新，所述毛刷的數量至少為4個。

作為本實用新型的進一步創新，所述柱狀底部支座為SUS304材質。

作為本實用新型的進一步創新，所述刷頭為碳化硅材質。

作為本實用新型的進一步創新，所述刷頭的碳化硅材質的顆粒度為800號。

作為本實用新型的進一步創新，所述刷頭的刷毛通過膠水固結。

作為本實用新型的進一步創新，所述轉動盤為鋁合金材質。

本實用新型的有益效果在于：

1.通過毛刷來取代傳統的砂輪對多晶硅進行倒角加工，砂輪機倒角后的多晶硅邊緣表面有稜角毛刺崩邊甚至有裂縫或其它缺陷，邊緣表面比較粗糙，為了增加切片后硅片的合格率，減少倒角處崩邊，亮點，及硅棒倒角處邊緣裂紋，就要將其砂輪倒角后再用毛刷拋光，以此提高線切生產切片的合格率和降低運行成本。?

2.底部支座和轉動盤連接的方式，方便了設備的后期的維護，減少了轉動盤和傳動軸經常性拆裝導致的磨損、精度降低，更進一步的節省了成本，毛刷采用剛性金屬塊來與轉動盤連接，降低了毛刷損壞的幾率，同時降低了刷毛的成本。

3.通過在轉動盤上加工通孔來安裝毛刷，方便了毛刷的拆裝。

4.通過多個毛刷頭旋轉對多晶硅進行拋光加工，節省了成本，同時方便刷頭單個的替換和維護，也便于加工產生的碎屑的排走，而不會整體性的積累于刷頭之上，影響加工的質量。

5.毛刷定做采用SUS304材質，具有高的耐蝕性，在低溫、室溫及高溫下均有較高的塑歸和韌性，以及較好的冷作成型和焊接性，使毛刷的使用壽命大大提供，同時也降低了毛刷底座的制作成本。

6.采用800號的碳化硅材質的毛刷，具有良好的導熱性，有效的防止拋光過程中溫度過高對多晶硅造成的損壞，同時碳化硅材質具有良好的化學耐受性，可以適應復雜的工作環境，碳化硅材質的毛刷還具有較長的使用壽命，可以有效的降低加工的成本。

7.毛刷通過膠水固結，防止毛刷在加工過程中的散開，影響加工質量。

8.轉動盤采用鋁合金材質，既耐用具有抗銹性能，同時也具有良好的機械加工性。

附圖說明

圖1為本實用新型多晶硅C角毛刷拋光器的拋光頭的示意圖。

圖2為本實用新型多晶硅C角毛刷拋光器的毛刷的示意圖。

圖中：1.底部支座、2.刷頭、3.毛刷安裝孔、4.轉動軸安裝孔、5.轉動盤、L.刷頭的直徑。

具體實施方式

如圖1、圖2所示，本實用新型針對傳統的多晶硅倒角打磨機進行改造，在打磨機的V形槽內，將原有的砂輪機的砂輪盤采用軟毛刷拋光頭進行替換，本實用新型的拋光頭部分包括轉動盤5以及安裝在轉動盤上的六個毛刷，毛刷通過六個毛刷安裝孔3安裝于轉動盤5之上，毛刷包括底部支座1和刷頭2兩個部分，六個毛刷安裝孔3相對于轉動盤5中心部的轉動軸安裝孔4環形陣列排布，本實用新型中的毛刷選取顆粒度為800號碳化硅材料制成使毛刷具有良好的化學耐受性和散熱性，刷毛的直徑為0.7mm并且刷毛之間通過膠水來進行固化，以保證毛刷工作的穩定性，毛刷的底部支座1采用SUS304鋼制成，具有良好的散熱性和穩定性，毛刷的直徑為L，毛刷的刷頭2與底部支座1之間采用特殊的工藝進行粘合連接以保證工作時毛刷的穩定性，底部支座1與轉動盤5的毛刷安裝孔3過盈配合，相比于螺紋，此配合方式可以保證轉動時的毛刷的穩定性，通過本實用新型的軟毛刷替換原有的砂輪進行多晶硅C角的拋光加工，消除了原來的硬質砂輪在打磨時對多晶硅產生的壓力性破壞導致的邊緣表面的稜角毛刺崩邊甚至有裂縫或其它缺陷、邊緣表面比較粗糙等問題，可以使產品合格率提高百分之0.5個百分點，具有良好的社會效益。