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[實用新型]晶體硅太陽能電池有效

專利信息
申請號: 201320345849.3 申請日: 2013-06-17
公開(公告)號: CN203325915U 公開(公告)日: 2013-12-04
發明(設計)人: 夏正月;任常瑞;張滿良;高艷濤;陶龍忠;張斌;邢國強 申請(專利權)人: 奧特斯維能源(太倉)有限公司
主分類號: H01L31/0216 分類號: H01L31/0216
代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 代理人: 夏雪
地址: 215434 江蘇省蘇州*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 晶體 太陽能電池
【權利要求書】:

1.一種晶體硅太陽能電池,包括硅襯底和生長在硅襯底表面的氮化硅薄膜,其特征在于:在所述硅襯底和氮化硅薄膜之間還生長有氧化硅薄膜或非晶硅薄膜。

2.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述氧化硅薄膜用PECVD或APCVD或濕法溶液或熱退火的方法制備。

3.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述氧化硅薄膜的厚度為1-100nm。

4.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述非晶硅薄膜用PECVD的方法制備。

5.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述非晶硅薄膜的厚度為1-50nm。

6.根據權利要求1所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述氮化硅薄膜的折射率為1.9-2.6,厚度為40-150nm。

7.根據權利要求3所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述氧化硅薄膜的厚度為3-8nm。

8.根據權利要求4所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述非晶硅薄膜的厚度為3-5nm。

9.根據權利要求6所述晶體硅太陽能電池,其特征在于:所述氮化硅薄膜的厚度為70-75nm。

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