[實用新型]一種電驅動對稱柱塞式氣體微小流量標準裝置

有效

• 申請號: 201320336503.7
• 申請日: 2013-06-08
• 公開（公告）號: CN203385466U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 王文林;程佳;常向月;黃震威;陳慧云;沈文新
• 申請（專利權）人: 浙江省計量科學研究院
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.一種電驅動對稱柱塞式氣體微小流量標準裝置，其特征在于：右支架（2）、傳動端板（5）、傳動支架（9）、緩沖罐（12）、被檢流量計（13）、流量控制器（14）、壓力變送器（16）和電機支架（25）分別固定在基板（29）上；右氣缸（3）固定在右支架（2）和傳動端板（5）之間，右支架（2）開有進氣口（1）與右氣缸（3）連通；左氣缸（10）固定在傳動支架（9）和緩沖罐（12）之間，緩沖罐（12）與左氣缸（10）出氣口連通；柱塞（6）與左氣缸（10）和右氣缸（3）水平同軸安裝，并分別通過兩道O型圈（4）動密封，左氣缸（10）的兩道O型圈靠近傳動支架（9），右氣缸（2）的兩道O型圈靠近傳動端板（5）；右氣缸（3）出氣口經雙向流量指示器（30）與左氣缸（10）進氣口連通，其中右氣缸（3）出氣口靠近其O型圈右側，左氣缸（10）進氣口靠近其O型圈左側；傳動端板（5）和傳動支架（9）之間安裝有滾珠絲杠（20），滾珠絲杠（20）位于柱塞（6）的正下方；柱塞（6）軸向中部開有凹槽，T型連接塊（8）上部開有通孔，并且T型連接塊（8）頂端開有與通孔連通的平面凹槽，柱塞（6）穿過T型連接塊（8）上部的通孔，鎖緊塊（7）緊固在T型連接塊（8）的平面凹槽內，底部壓入柱塞（6）凹槽，實現柱塞（6）和T型連接塊（8）的剛性連接；T型連接塊（8）前后肩臺下側面分別安裝滑塊（31），滑塊（31）與傳動支架（9）前后兩側頂面對應的直線導軌（33）相配合；與滾珠絲杠（20）配合的絲杠螺母（19）固定在T型連接塊（8）的下部；帶編碼器（28）的步進電機（27）經減速機（26）和膜片聯軸器（24）與滾珠絲杠（20）右端連接，減速機（26）和膜片聯軸器（24）分別固定在電機支架（25）的右側和左側；溫度變送器（11）安裝在緩沖罐（12）頂側，壓力變送器（16）安裝在緩沖罐（12）的右側，被檢流量計（13）入口與緩沖罐（12）連通，流量控制器（14）安裝在被檢流量計（13）的出口處。

2.根據權利要求1所述的對稱柱塞式氣體微小流量標準裝置，其特征在于：所述的右氣缸（3）兩道O型圈之間開有測泄孔，左氣缸（10）兩道O型圈之間開有測泄孔，差壓變送器（32）通過管道與兩個測泄孔相連。