[實用新型]應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置有效
| 申請號： | 201320335719.1 | 申請日： | 2013-06-09 |
| 公開（公告）號： | CN203343897U | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發明（設計）人： | 唐強 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 應用于 300 毫升 化學 機械 研磨 泥漿 裝置 | ||
1.一種應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置，其特征在于，包括：泥漿手臂裝置、第一泥漿手臂、第二泥漿手臂、第一泥漿噴嘴、第二泥漿噴嘴；
所述第一泥漿手臂和第二泥漿手臂分別與所述泥漿手臂裝置連接；
所述第一泥漿噴嘴與所述第一泥漿手臂連接；
所述第二泥漿噴嘴與所述第二泥漿手臂連接。
2.根據權利要求1所述的應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置，其特征在于，還包括：PC頭和PC手臂；
所述PC頭與所述第二泥漿噴嘴相對設置；
所述PC手臂與所述PC頭連接。
3.根據權利要求1所述的應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置，其特征在于，還包括：第一泥漿流管，所述第一泥漿流管一端與所述泥漿手臂裝置連接，另一端與所述第一泥漿手臂連接。
4.根據權利要求3所述的應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置，其特征在于，還包括：第一流量計，所述第一流量計一端與所述第一泥漿流管連接，另一端與所述第一泥漿手臂連接。
5.根據權利要求1所述的應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置，其特征在于，還包括：第二泥漿流管，所述第二泥漿流管一端與所述泥漿手臂裝置連接，另一端與所述第二泥漿手臂連接。
6.根據權利要求5所述的應用于300毫升化學機械研磨的泥漿裝置，其特征在于，還包括：第二流量計，所述第二流量計一端與所述第二泥漿流管連接，另一端與所述第二泥漿手臂連接。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中芯國際集成電路制造（北京）有限公司，未經中芯國際集成電路制造（北京）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320335719.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
