[實(shí)用新型]一種新型涂布系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320335494.X | 申請(qǐng)日： | 2013-06-09 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203281461U | 公開(kāi)（公告）日： | 2013-11-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 查長(zhǎng)軍;王聳;方群;吳洪江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B05B13/04 | 分類號(hào)： | B05B13/04;B05B15/10 |
| 代理公司： | 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 新型 系統(tǒng) | ||
1.一種新型涂布系統(tǒng)，包括：清洗裝置以及涂布裝置，其特征在于，還包括：異物檢測(cè)裝置，所述異物檢測(cè)裝置可對(duì)待涂布的基板進(jìn)行異物檢測(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置包括檢測(cè)器件，用于對(duì)待涂布的基板進(jìn)行異物檢測(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括與所述檢測(cè)器件相連的信息獲取裝置，用于獲取基板上異物的信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，還包括：與所述異物檢測(cè)裝置相連的處理裝置，用于對(duì)異物檢測(cè)裝置檢測(cè)到的有異物的基板進(jìn)行處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置向所述處理裝置發(fā)送檢測(cè)到的異物的信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述處理裝置包括研磨頭，用于對(duì)基板上的異物進(jìn)行研磨。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述處理裝置還包括：傳感器件，用于對(duì)研磨后的基板進(jìn)行檢測(cè)。
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