[實用新型]一種矩形恒溫平面射頻線圈裝置

有效

• 申請號: 201320334505.2
• 申請日: 2013-06-09
• 公開（公告）號: CN203367328U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 陳特超;謝利華;李健志;林伯奇;毛朝斌
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.?一種矩形恒溫平面射頻線圈裝置，包括反應室和兩端加高頻電源并產生高頻磁場的線圈（3），其特征是，所述反應室分為小室（12）和置于小室（12）后端并與小室（12）連通的真空室（11），所述小室（12）的前端安裝用以將線圈（3）產生的高頻磁場引入真空室（11）內的耦合窗（1），小室（12）的前方設有與耦合窗（1）平行的固定板（4），所述線圈（3）在平面內繞制成矩形螺旋狀并固定在固定板（4）上。

2.根據權利要求1所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述耦合窗（1）與固定板（4）之間設有調整二者之間距離的墊條（5）。

3.根據權利要求1所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述線圈（3）通過固定卡（8）壓裝在固定板（4）上。

4.根據權利要求1所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述矩形線圈（3）最外圍的矩形尺寸與小室（12）的尺寸匹配。

5.根據權利要求1所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述耦合窗（1）通過壓塊（2）固定在小室（12）外壁上，壓塊（2）為L形，且壓塊（2）的一端固定在小室（12）外壁，L形壓塊（2）的直角邊與耦合窗（1）的頂面直角邊貼合。

6.根據權利要求1所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述固定板（4）通過壓條（6）固定在小室（12）外壁上，壓條（6）為L形，且壓條（6）的一端固定在小室（12）外壁，L形壓條（6）的直角邊與固定板（4）的頂面直角邊貼合。

7.根據權利要求1所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述固定板（4）上設有調節矩形平面線圈（3）螺距的定位卡（7）。

8.根據權利要求1-7之一所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述線圈（3）為中空的圓管。

9.根據權利要求8所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述線圈（3）的兩個端頭上設有用于連接水管（10）的接頭（9）。

10.根據權利要求1-7之一所述矩形恒溫平面射頻線圈裝置，其特征是，所述真空室（11）由金屬材料制成。