[實用新型]一種基于熒光薄膜的反射接收的紫外硅基探測器有效
| 申請號: | 201320331931.0 | 申請日: | 2013-06-09 |
| 公開(公告)號: | CN203312316U | 公開(公告)日: | 2013-11-27 |
| 發明(設計)人: | 何梁;陶春先;張大偉;盧忠榮;洪瑞金;黃元申 | 申請(專利權)人: | 上海理工大學 |
| 主分類號: | H01L31/0232 | 分類號: | H01L31/0232;H01L31/101;H01L31/0216 |
| 代理公司: | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人: | 吳寶根 |
| 地址: | 200093 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 熒光 薄膜 反射 接收 紫外 探測器 | ||
1.一種基于熒光薄膜的反射接收的紫外硅基探測器,其特征在于,包括石英透鏡、變頻反射鏡、可見光增透透鏡和硅基探測器,四個部件都安裝在內部涂黑的密封裝置中,石英透鏡安裝至密封裝置的入射窗口處,外部光源入射通過石英透鏡后,入射到鍍有熒光薄膜的變頻反射鏡上,光經變頻反射鏡反射到反射鏡的下方的可見光增透透鏡,經可見光增透透鏡聚焦到水平安裝在密封裝置底部的硅基探測器上。
2.根據權利要求1所述基于熒光薄膜的反射接收的紫外硅基探測器,其特征在于,所述石英透鏡表面鍍有一層紫外增透薄膜。
3.根據權利要求1所述基于熒光薄膜的反射接收的紫外硅基探測器,其特征在于,所述變頻反射鏡為平面或凹面,反射面鍍有一層用于紫外發光的變頻膜,反射鏡平面與石英透鏡射出的入射光線成傾斜角,傾斜角可調。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





