[實用新型]一種多角度可緊固式掃描電鏡用樣品臺

有效

• 申請號: 201320330867.4
• 申請日: 2013-06-08
• 公開（公告）號: CN203312250U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 王瑞娟;陳志民;王波;曹晶晶;王書霞;田果
• 申請（專利權）人: 鄭州大學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 鄭州天陽專利事務所(普通合伙) 41113
• 代理人: 童冠章

技術領域

本實用新型涉及掃描電鏡用樣品臺，特別是一種多角度可緊固式掃描電鏡用樣品臺。

背景技術

掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得樣品信息的電子顯微鏡，是一種新型的電子儀器。它具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數十年來，掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關學科的發展。

掃描電鏡的一個重要特點是景深大，圖像富立體感。掃描電鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大，故所得掃描電子圖像富有立體感，具有三維形態，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個特點對使用者很有價值。掃描電鏡所顯示的斷口形貌從深層次，高景深的角度呈現材料斷裂的本質，在教學、科研和生產中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。

樣品臺是掃描電子顯微鏡的關鍵部件之一，它用以承載樣品，并通過電子束掃描系統成像表征樣品的局部特征。然而，目前掃描電鏡的常用樣品臺對裝載樣品的斷面斜面觀察有一定的限制，只適用于平面或斷面的觀察，不能同時觀察斜面，平面和斷面樣品形貌，而且樣品臺在固定過程中由于側壁十分光滑，可能會造成在測試過程中基臺體的晃動和滑脫，對測試造成影響。因此，掃描電鏡用樣品臺的創新和改進是急需解決的問題。?

發明內容

針對上述情況，為克服現有技術之缺陷，本實用新型之目的就是提供一種多角度可緊固式掃描電鏡用樣品臺，可有效解決樣品臺無法多角度觀察樣品形貌，以及基臺體在測試過程中可能出現的晃動，造成的成像模糊的問題。

本實用新型解決的技術方案是，包括基臺體，基臺體豎向周壁上開有和緊固螺釘配套使用的緊固孔，基臺體上表面依次有斜臺面，第一水平臺面、垂直斷面臺面和第二水平臺面，構成多角度觀察樣品形貌的臺面結構。

本實用新型結構新穎獨特，簡單合理，易加工，成本低，適用于各種掃描電鏡，可同時觀察多種角度的樣品形貌以及較厚樣品的表面形貌，安裝方便簡單，樣品固定牢固且成像效果好，增多了樣品形貌觀察角度，擴大了樣品臺的應用范圍，減少了多次換不同樣品臺的操作步驟，大大提高掃描電鏡的工作效率，是掃描電鏡用樣品臺上的創新。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖。

圖2為本實用新型的側視圖。

圖3為本實用新型的俯視圖（局部剖開）。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細說明。

由圖1至圖3給出，實用新型包括基臺體，基臺體1豎向周壁上開有和緊固螺釘配套使用的緊固孔6，基臺體上表面依次有斜臺面2，第一水平臺面3、垂直斷面臺面4和第二水平臺面5，構成多角度觀察樣品形貌的臺面結構，用于多角度觀察樣品形貌和較厚樣品表面形貌。

為保證使用效果，所述的基臺體1為圓形；

所述的斜臺面2與水平面的夾角為45°；

所述的基臺體1豎向周壁上開有8個均布的和緊固螺釘配套使用的緊固孔6，緊固孔深度為2-3mm，其直徑比緊固螺釘外徑大0.5mm，以使樣品臺固定，開8個均布的緊固孔以方便基臺體與樣品臺底座外表面2個緊固螺釘配合，固定方便。

所述的斜臺面2，第一水平臺面3、垂直斷面臺面4和第二水平臺面5，可同時分別測試樣品斜面，較薄樣品表面，樣品斷面以及較厚樣品表面形貌，從而多角度觀察樣品形貌。

本實用新型的使用情況是，首先將樣品用導電膠粘附在本樣品臺上，可根據所需，選擇樣品粘附在斜臺面2，第一水平臺面3、垂直斷面臺面4或第二水平臺面5上，第一水平臺面可測樣品平面形貌，垂直斷面臺面可測樣品斷面形貌，斜臺面可測樣品斜面形貌，第二水平臺面可測較厚樣品表面形貌。樣品固定好后，將樣品臺底座外表面的緊固螺釘旋進基臺體1上的緊固孔6，使其固定牢固，然后檢測樣品的各面斜面形貌。本實用新型結構新穎獨特，簡單合理，易加工，成本低，適用于各種掃描電鏡，可同時觀察多種角度的樣品形貌，安裝方便簡單，樣品固定牢固且成像效果好，增多了樣品形貌觀察角度，擴大了樣品臺的實用性，減少了多次換不同樣品臺的操作步驟，大大提高了掃描電鏡的工作效率，是掃描電鏡用樣品臺上的創新。

申請人要指出的是，本申請上述給出的僅僅是一種實施例，并不是用于限制本申請的保護范圍，凡是用等同或等效替代手段所做出與本申請本質上相同的技術方案均屬于本申請的保護范圍。