[實用新型]一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器

有效

• 申請號: 201320319044.1
• 申請日: 2013-06-05
• 公開（公告）號: CN203376085U
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 林志雄;黃劍航
• 申請（專利權）人: 莆田學院
• 主分類號: G01L1/10
• 分類號: G01L1/10;G01L1/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器，其特征在于：其包括壓力承載單元、微杠桿機構、柔性接觸點、壓力音叉、參考音叉、激勵壓電元件、測頻壓電元件、主體和嵌入式處理模塊，所述壓力音叉和參考音叉位于同一塊主體基材上，大小相同，位置相鄰，兩個音叉的音叉臂互相平行，且均有一個激勵壓電元件和一個測頻壓電元件安裝在各音叉的兩個音叉臂上，激勵壓電元件輸入與測頻壓電元件輸出均連接到嵌入式處理模塊中。

2.根據權利要求1所述的一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器，其特征在于：所述主體的材料為恒彈性合金。

3.根據權利要求1所述的一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器，其特征在于：所述壓力承載單元、微杠桿機構、柔性接觸點、壓力音叉、參考音叉均在一整塊恒彈性合金基材上經過線切割、光刻、腐蝕加工成型，各部分相連，是一個完整的有機整體。

4.根據權利要求1所述的一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器，其特征在于：所述參考音叉兩端固定在主體上。

5.根據權利要求1所述的一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器，其特征在于：所述壓力音叉一端固定在主體上，另一端與微杠桿機構相連。

6.根據權利要求1所述的一種高精度雙端固定諧振音叉式壓力傳感器，其特征在于：所述微杠桿機構一端與主體通過一個柔性接觸點相連，并以柔性接觸點作為杠桿支點，微杠桿機構另一端上方與壓力承載單元相連。