[實用新型]一種基板吸附裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320313089.8
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN203300622U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高濤
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及搬運設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板吸附裝置。

背景技術(shù)

在顯示裝置制造時，通常需要用到基板搬運設(shè)備。如圖1所示，現(xiàn)有基板搬運設(shè)備的基板吸附裝置通常包括具有抽真空管路的機械手臂1，真空管4和基板承托套3，其中，如圖2所示，真空管4固定于機械手臂1上且與抽真空管路相連通，基板承托套3固定于機械手臂1上且套設(shè)于真空管4的外側(cè)。當需要將基板在各個制造工序之間傳遞時，啟動與基板吸附裝置相連的抽真空設(shè)備，此時機械手臂1的抽真空管路處于真空狀態(tài)，基板承托套3的承托端面在真空作用下與基板2a的接觸區(qū)域緊密貼合，實現(xiàn)了基板吸附裝置對基板2a的固定。

柔性顯示是下一代顯示技術(shù)的重要發(fā)展方向，該技術(shù)具有可彎曲、不易碎、超輕超薄、低功耗等特點，在電子書、移動通信、筆記本、電視等領(lǐng)域具有廣闊的應用前景和良好的發(fā)展預期，其中，柔性顯示所用的基板材料通常為有機塑料、薄金屬箔或柔性玻璃等。

本專利申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，如圖3所示，當所搬運的基板為極易彎曲的柔性基板時，如果柔性基板發(fā)生彎曲，基板承托套的承托端面不能與基板的接觸區(qū)域緊密貼合，基板吸附裝置無法可靠地通過真空吸附固定基板，極易造成基板在搬運過程中的跌落破損，從而增加生產(chǎn)成本。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種基板吸附裝置，避免柔性基板在搬運的過程中跌落破損，有效地降低了生產(chǎn)成本。

為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種基板吸附裝置，包括：具有抽真空管路的機械手臂，固定于機械手臂上的真空管和基板承托套，所述真空管與所述抽真空管路相連通，所述基板承托套套設(shè)于所述真空管的外側(cè)，所述基板承托套的承托端面與所述基板的接觸區(qū)域相貼合且可隨基板的接觸區(qū)域傾斜而傾斜。

優(yōu)選的，所述機械手臂包括至少兩個觸手。

優(yōu)選的，每個所述觸手上固定有至少兩個真空管。

優(yōu)選的，所述基板承托套為錐筒形，且所述承托端面的外徑大于與機械手臂固定的端面外徑。

優(yōu)選的，所述真空管的吸附基板的端面低于所述基板承托套的承托端面。

優(yōu)選的，所述基板承托套具有可隨所述承托端面的傾斜而伸縮的彈性皺褶。

在本實用新型技術(shù)方案中，由于所述基板承托套的承托端面與所述基板的接觸區(qū)域相貼合且可隨基板的接觸區(qū)域傾斜而傾斜，當基板吸附裝置所搬運的柔性基板發(fā)生彎曲時，使基板吸附裝置能夠較可靠地通過真空吸附固定所搬運的柔性基板，改善了柔性基板在搬運的過程中跌落破損，有效地降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有基板吸附裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為現(xiàn)有機械手臂的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為現(xiàn)有基板吸附裝置吸附柔性基板的示意圖；

圖4為本實用新型基板吸附裝置一實施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型基板吸附裝置一實施例的基板承托套結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型基板吸附裝置一實施例的基板承托套俯視示意圖；

圖7為本實用新型基板吸附裝置另一實施例的的基板承托套結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本實用新型基板吸附裝置另一實施例的的基板承托套剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為本實用新型基板吸附裝置另一實施例的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標記：

1-機械手臂??????????????????2a-基板

2b-柔性基板?????????????????3-基板承托套

4-真空管????????????????????5-容置槽

6-外翻邊

具體實施方式

本實用新型的目的在于提供一種基板吸附裝置，該基板吸附裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計與現(xiàn)有技術(shù)相比，基板吸附裝置的基板承托套具有與基板的接觸區(qū)域相貼合且可隨基板的接觸區(qū)域傾斜而傾斜的承托端面，使基板承托套的承托端面能夠與發(fā)生彎曲的基板的接觸區(qū)域緊密貼合，基板吸附裝置能夠較可靠地通過真空吸附基板，改善了柔性基板在搬運的過程中跌落破損，有效地降低了生產(chǎn)成本。

如圖4所示，本實用新型實施例所提供的基板吸附裝置包括具有抽真空管路的機械手臂1，固定于機械手臂1上的真空管4和基板承托套3，真空管4與所述抽真空管路相連通，所述基板承托套3套設(shè)于真空管4的外側(cè)，基板承托套3的承托端面與柔性基板2b的接觸區(qū)域相貼合且可隨柔性基板2b的接觸區(qū)域傾斜而傾斜。