[實用新型]硅片鼓泡清洗裝置有效
| 申請號： | 201320312692.4 | 申請日： | 2013-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN203281546U | 公開（公告）日： | 2013-11-13 |
| 發明（設計）人： | 王帥;李立宏;段盟盟;朱玲 | 申請（專利權）人： | 浙江金樂太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/10 | 分類號： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 余姚德盛專利代理事務所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315201 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片鼓泡清洗裝置，其特征在于：包括清洗槽（1）、托盤（2）、通氣管（5）、連接管（7）、止回閥（8）和氣泵（10），所述清洗槽（1）的內壁設有環形凸起（3），所述托盤（2）安裝在所述環形凸起（3）上，所述通氣管（5）安裝在所述清洗槽（1）的底部，所述通氣管（5）繞成螺旋形，所述通氣管（5）的表面開設有通氣孔（6），所述通氣管（5）的一端密封且另一端連接所述連接管（7），所述連接管（7）連接所述氣泵（10），所述止回閥（8）串接在所述連接管（7）上。
2.如權利要求1所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征在于：還包括過濾器（9），所述過濾器（9）串接在所述連接管（7）上，且所述過濾器（9）位于所述氣泵（10）與所述止回閥（8）之間。
3.如權利要求1所述的硅片鼓泡清洗裝置，其特征在于：所述通氣孔（6）的直徑大于等于2mm且小于等于3mm。
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