[實(shí)用新型]一種新型擴(kuò)散用石英舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320310293.4
• 申請(qǐng)日: 2013-05-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203325859U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸俊宇;王志剛;易輝;汪燕玲;連維飛;魏青竹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中利騰暉光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 黃珩

1.一種新型擴(kuò)散用石英舟，用于放置硅片，其特征在于，包括舟體，所述舟體上設(shè)置有至少三個(gè)用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽與相鄰卡槽之間的間距分別為L(zhǎng)1和L2，其中L1>L2或L1<L2，并且所有卡槽之間的間距按照L1、L2、L1、L2依次間隔排列。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型擴(kuò)散用石英舟，其特征在于，所述L2為L(zhǎng)1的1/2-1/7倍，或所述L1為L(zhǎng)2的1/2-1/7倍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型擴(kuò)散用石英舟，其特征在于，?所述硅片在插入卡槽時(shí)，所述硅片的正面朝向L1和L2之中大的一方，硅片的背面朝向L1和L2中小的一方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的新型擴(kuò)散用石英舟，其特征在于，所述L1和L2的取值范圍為0.5mm-5mm。