[實用新型]石英晶體被銀機有效
| 申請號： | 201320309340.3 | 申請日： | 2013-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN203295600U | 公開（公告）日： | 2013-11-20 |
| 發明（設計）人： | 楊小木;袁武權 | 申請（專利權）人： | 湖南奧泰克科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/52 | 分類號： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 常德市源友專利代理事務所 43208 | 代理人： | 劉紅祥 |
| 地址： | 415001 湖南省常德*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 石英 晶體 被銀機 | ||
【權利要求書】：
1.石英晶體被銀機，包括晶體真空罩（1）、檢測信號轉換器（2）、主機（3）、分子泵（4）、離子烘機（5），其特征在于：晶體真空罩（1）的頂部連接有一個檢測信號轉換器（2），檢測信號轉換器（2）與主機（3）相連，晶體真空罩（1）還連接有分子泵（4）和離子烘機（5）。
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