[實用新型]一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒

有效

• 申請號: 201320308476.2
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN203288569U
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 彭志農;潘宏菽;付興昌
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 陸林生

1.一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒，其特征在于包括盒體（1）和盒蓋（2），所述盒體（1）上設有艙室平臺，艙室平臺為一個平滑的圓形平臺，平臺的直徑大于薄晶圓片的直徑，沿艙室平臺（3）外周的部分弧將盒體分為高低兩部分，在盒體低的部分設有取放口（4），取放口（4）為一條設置在艙室平臺外側的弧形凹槽，所述凹槽緊挨著艙室平臺（3），取放口（4）的高度大于艙室平臺（3）的高度，所述盒蓋（2）也分為高低兩部分，盒蓋（2）低的部分與盒體（1）高的部分相適配，盒蓋（2）高的部分與盒體（1）低的部分相適配。

2.根據權利要求1所述的一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒，其特征在于所述盒體沿艙室平臺（3）的一條直徑分為高低兩部分，在盒體（1）高的部分，艙室平臺（3）的周圍為陡直的邊沿，邊沿的高度大于薄晶圓片的翹曲高度，在盒體（1）低的部分，艙室平臺（3）的周圍為取放口（4），取放口（4）為半圓形凹槽，取放口（4）的高度大于艙室平臺的高度，高度差為1mm-5mm，半圓形凹槽在遠離艙室平臺的一側設有斜面（5），斜面（5）的上沿與盒體（1）低部分的上表面平齊，斜面（5）的下沿高于艙室平臺（3）。

3.根據權利要求2所述的一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒，其特征在于在盒蓋（2）高的部分與取放口（4）相對應的位置上設有與取放口（4）相適配的阻擋棱（6）。

4.根據權利要求3所述的一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒，其特征在于所述盒體（1）的上表面設有第一定位棱（7），所述第一定位棱（7）位于所述盒體（1）高的部分上，所述盒體（1）的下表面設有定位槽（8）；所述盒蓋（2）的上表面設有第二定位棱（9），第一定位棱（7）與第二定位棱（9）組合成的形狀與定位槽（8）相適配。

5.根據權利要求4所述的一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒，其特征在于盒體（1）低的部分上設有第一鎖孔（10），在盒蓋（2）上與第一鎖孔相對應的位置設有第二鎖孔（11）。

6.根據權利要求2所述的一種用于存放薄晶圓片的周轉存儲盒，其特征在于所述斜面（5）為45°斜面。