[實用新型]一種不等高位置的晶圓托架有效

申請號：	201320307547.7	申請日：	2013-05-30
公開（公告）號：	CN203351566U	公開（公告）日：	2013-12-18
發明（設計）人：	凌復華;吳鳳麗;姜崴;朱超群;祁廣杰	申請（專利權）人：	沈陽拓荊科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	沈陽維特專利商標事務所(普通合伙) 21229	代理人：	甄玉荃
地址：	110179 遼寧省***	國省代碼：	遼寧;21
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種不等位置托架
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【權利要求書】：

1.一種不等高位置的晶圓托架，其特征在于：它包括高晶圓支架和低晶圓支架兩個部分，高、低兩個晶圓支架分別設有不等高晶圓支架的支板、固定螺栓及高、低晶圓支架底板，上述高、低兩個晶圓支架只有晶圓支架的底板高度不同，其他結構和安裝方式都相同，上述高晶圓支架通過固定螺栓將不等高晶圓支架的支板連接到晶圓支架底板的上面，然后通過緊固螺釘連接到傳片腔中固定，上述低晶圓支架通過標準件將等高晶圓支架的支板連接到晶圓支架底板的上面，然后再由緊固螺釘將其連接到傳片腔中固定。?

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