[實用新型]用于晶體管電流及電壓測試的測試設備

有效

• 申請號: 201320307143.8
• 申請日: 2013-05-30
• 公開（公告）號: CN203275497U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 張玉軍
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01R19/00
• 分類號: G01R19/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，尤其是指一種用于晶體管電流及電壓測試的測試設備。

背景技術

現有半導體制造例如液晶顯示器制造技術中，經常需要對電路上的薄膜晶體管TFT進行IV（電流、電壓）測試，以檢測薄膜晶體管TFT的性能。

如圖1為現有薄膜晶體管TFT的IV測試系統中用于提供光的光源結構示意圖，該光學結構包括：CCD（電荷耦合器件）圖像傳感器1、鏡座2、顯微鏡物鏡頭3及光源4，利用光源4所發出光CCD圖像傳感器1通過鏡座2及顯微鏡物鏡頭3觀看到測試位置對應的探針，并使測試位置對應的探針接收光源4所發出光，利用所接收的光進行光電流的測量。

然而，現有技術的該光源結構，由于光路設計的限制，在量測光電流時只能使用光源4所發出的白光，而對于單色、單波段光線照射下的光電流無法進行評價及測試。

實用新型內容

本實用新型技術方案的目的是提供一種用于晶體管電流及電壓測試的測試設備，能夠實現薄膜晶體管TFT在單色、單波段光線照射下的光電流測試。

本實用新型提供一種用于晶體管電流及電壓測試的測試設備，其中，所述測試設備包括：

光源本體；

用于利用所述光源本體所發出光線獲取待測位置的圖像采集裝置，所述圖像采集裝置包括圖像采集鏡頭；

位置可調節的探針，對所述待測位置進行電流及電壓測試時，所述探針位于所述待測位置處；

用于生成單波段光線來照射所述探針以進行晶體管電流及電壓測試的分光計，所述分光計連接有出光光纖，所述出光光纖的光纖鏡頭與所述圖像采集鏡頭保持固定距離。

優選地，上述所述的測試設備，所述圖像采集裝置還包括：圖像傳感器及鏡座。

優選地，上述所述的測試設備，所述圖像傳感器為電荷耦合器件圖像傳感器。

優選地，上述所述的測試設備，所述出光光纖固定于所述鏡座上。

優選地，上述所述的測試設備，還包括：

用于記錄所述固定距離的存儲裝置；以及

用于根據所述固定位置移動設置所述探針的探針臺，使所述探針與所述出光光纖的光纖鏡頭相對位的移動裝置。

本實用新型具體實施例上述技術方案中的至少一個具有以下有益效果：

本實用新型具體實施例所述測試設備，利用分光計生成單波段光線，并保證出光光纖的光纖鏡頭與圖像采集鏡頭保持固定距離，在測試時當利用圖像采集裝置確定待測位置后，根據所設定的固定距離，移動設置探針的探針臺，即能夠使待測位置處的探針與出光光纖的光纖鏡頭相對位，從而使探針接收到分光計所發出的單波段光線，進行薄膜晶體管的單波段光線的光電流測試。

附圖說明

圖1表示現有技術用于晶體管IV測試的光源結構示意圖；

圖2表示本實用新型具體實施例所述用于晶體管IV測試的光源結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例對本實用新型進行詳細描述。

圖2為本實用新型具體實施例所述用于晶體管IV測試的光源結構示意圖，參閱圖2所示，所述光源結構包括：

光源本體10；

用于利用所述光源本體所發出光線獲取待測位置的圖像采集裝置20，所述圖像采集裝置20包括圖像采集鏡頭21；

位置可調節的探針（圖中未顯示），當對所述待測位置進行電流及電壓測試時，所述探針設置于所述待測位置處；

用于生成單波段光線來照射所述探針，使所述探針接收所述單波段光線，以進行晶體管電流及電壓（IV）測試的分光計30，所述分光計30包括出光光纖31，所述出光光纖31的光纖鏡頭32與所述圖像采集鏡頭21保持固定距離。

具體地，所述圖像采集裝置20還包括：圖像傳感器22及鏡座23，其中所述出光光纖31通過固定裝置40固定于所述鏡座23上。優選地，所述圖像傳感器22為電荷耦合器件圖像傳感器。

通過上述光源結構，利用分光計30生成單波段光線，并保證出光光纖31的光纖鏡頭32與圖像采集鏡頭21保持固定距離，在測試時當利用圖像采集裝置20確定待測位置后，根據所設定的固定距離，移動設置探針的探針臺，即能夠使待測位置處的探針與出光光纖31的光纖鏡頭相對位，從而使探針接收到分光計30所發出的單波段光線，進行薄膜晶體管TFT的單波段光線的光電流測試。

采用上述圖2所示結構的光源結構，在進行薄膜晶體管TFT的電流及電壓（IV）測試之前，為了使被測位置能夠接收到單波段光線，需要進行如下的調整工作：