[實(shí)用新型]一種用于氫化爐的加熱裝置及氫化爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320306035.9
• 申請日: 2013-05-30
• 公開（公告）號: CN203382514U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙桂潔;顧國寶;楊丞杰;王世松;何書玉;李鴻祥;陳忠苑;付金林;劉柯;周文韜;黃磊;張新紅
• 申請（專利權(quán)）人: 昆明冶研新材料股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 李志東;張大威

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于氫化爐的加熱裝置及氫化爐。

背景技術(shù)

目前國內(nèi)主流多晶硅生產(chǎn)技術(shù)多采用改良西門子法，該方法通過在高溫條件下三氯氫硅和氫氣發(fā)生化學(xué)氣相沉積反應(yīng)得到高純多晶硅，同時產(chǎn)生大量的副產(chǎn)物四氯化硅需要循環(huán)利用。在熱氫化工序中，將四氯化硅和氫氣送入氫化爐，并給氫化爐內(nèi)加熱器通入電流，當(dāng)爐內(nèi)溫度達(dá)到1250℃時，四氯化硅與氫氣反應(yīng)生成多晶硅生產(chǎn)原料三氯氫硅。氫化加熱器的功率直接影響反應(yīng)溫度，從而影響氫化的轉(zhuǎn)化率，而加熱器材質(zhì)的電阻率直接影響氫化加熱器的功率。現(xiàn)有技術(shù)多采用單相六對加熱器三三并聯(lián)來達(dá)到反應(yīng)功率，增加了每對加熱器的電阻，從而增加了加熱器的成本，影響氫化效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少解決上述技術(shù)問題之一或至少提供一種有用的商業(yè)選擇。

為此，本實(shí)用新型的一個目的在于提供一種用于氫化爐的加熱裝置，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，易于實(shí)現(xiàn)，且能很好的保證氫化爐的反應(yīng)功率及溫度，提高氫化爐的最大運(yùn)行功率，能有效地保證氫化轉(zhuǎn)化率，確保系統(tǒng)的平衡及穩(wěn)定。

本實(shí)用新型的另一個目的在于提供一種氫化爐。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型第一方面提供了一種用于氫化爐的加熱裝置，包括：底盤；多個加熱器；多個電極，所述多個電極通過絕緣體貫穿所述底盤且所述多個電極沿底盤圓周方向分N環(huán)布置，所述多個電極被分為三組，每組中的多個電極被分為多對，每對電極的電極頭部通過一個加熱器相連，且每組中的相鄰兩對電極的電極尾部之間通過導(dǎo)電體串聯(lián)，所述三組中的每一組的電極由三相電中的一相供電。

根據(jù)本實(shí)用新型的用于氫化爐的加熱裝置，機(jī)構(gòu)簡單，操作方便，易于實(shí)現(xiàn)，且能很好的保證氫化爐的反應(yīng)功率及溫度，并使每對加熱器的電阻降低，從而使加熱器材質(zhì)電阻率的要求降低，材質(zhì)選取范圍增大，從而降低了加熱器的采購成本，該裝置還可以提高氫化爐的最大運(yùn)行功率，能有效地保證氫化轉(zhuǎn)化率，確保系統(tǒng)的平衡及穩(wěn)定。

另外，根據(jù)本實(shí)用新型上述的用于氫化爐的加熱裝置還可以具有如下附加的技術(shù)特征：

在本實(shí)用新型中，所述導(dǎo)電體為夾具，所述夾具固定在對應(yīng)的電極尾部。

在本實(shí)用新型中，所述夾具包括同環(huán)雙頭夾具、環(huán)間雙頭夾具和單頭夾具。

在本實(shí)用新型中，所述夾具為鍍銀的銅制夾具。

在本實(shí)用新型中，所述加熱器垂直安裝在對應(yīng)的電極頭部之上。

在本實(shí)用新型中，所述加熱器由石墨制成。

在本實(shí)用新型中，所述多個電極的電極頭部位于所述底盤的上方，所述多個電極的電極尾部位于所述底盤的下方。

在本實(shí)用新型中，所述多個電極被均分為3組。

在本實(shí)用新型中，所述多個電極通過絕緣體貫穿所述底盤且所述多個電極沿底盤圓周方向分3環(huán)布置。

本實(shí)用新型第二方面提供了一種氫化爐，包括：爐體；如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的用于氫化爐的加熱裝置，所述用于氫化爐的加熱裝置設(shè)置在所述爐體內(nèi)。

根據(jù)本實(shí)用新型的氫化爐，其內(nèi)部機(jī)構(gòu)簡單，操作方便，易于實(shí)現(xiàn)，且能很好的保證氫化爐的反應(yīng)功率及溫度，并使每對加熱器的電阻降低，從而使加熱器材質(zhì)電阻率的要求降低，材質(zhì)選取范圍增大，從而降低了加熱器的采購成本，該裝置還可以提高氫化爐的最大運(yùn)行功率，能有效地保證氫化轉(zhuǎn)化率，確保系統(tǒng)的平衡及穩(wěn)定。

本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

附圖說明

本實(shí)用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1為根據(jù)本實(shí)用新型一個實(shí)施例的用于氫化爐的加熱裝置的結(jié)構(gòu)圖；

圖2為根據(jù)本實(shí)用新型另一個實(shí)施例的用于氫化爐的加熱裝置的結(jié)構(gòu)圖；

和

圖3為根據(jù)本實(shí)用新型一個實(shí)施例的氫化爐的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對本實(shí)用新型的限制。