[實(shí)用新型]一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320303281.9 | 申請日： | 2013-05-30 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203392870U | 公開（公告）日： | 2014-01-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 殷福華;朱龍;邵勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 江陰江化微電子材料股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C01C1/02 | 分類號(hào)： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214000 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高純 氨水 生產(chǎn) 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于：包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸餾裝置、半成品罐一、半成品罐二、純水罐、過濾系統(tǒng)、成品罐，所述液氨罐連接在預(yù)處理罐中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置連接半成品罐一，半成品罐一連接半成品罐二，半成品罐二上方連接純水罐，半成品罐二下部連接過濾裝置，過濾系統(tǒng)連接成品罐。
2.如權(quán)利要求1所述的超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于：所述過濾系統(tǒng)為多級(jí)膜循環(huán)過濾系統(tǒng)。
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