[實用新型]多晶硅鑄錠爐熱場結構有效
| 申請號: | 201320301235.5 | 申請日: | 2013-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN203320182U | 公開(公告)日: | 2013-12-04 |
| 發明(設計)人: | 權祥;胡亞蘭;王梓明;朱常任;崔新正 | 申請(專利權)人: | 江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
| 地址: | 221004 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多晶 鑄錠 爐熱場 結構 | ||
1.一種多晶硅鑄錠爐熱場結構,包括隔熱籠、置于所述隔熱籠內的熱交換臺、放置在所述熱交換臺上的坩堝、設置在坩堝四周的石墨護板及承靠在所述石墨護板頂部的石墨蓋板,其特征在于:所述石墨護板和所述石墨蓋板與所述隔熱籠相對的表面均為凹凸結構,所述隔熱籠的內壁設成光滑表面。
2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述石墨蓋板通過螺栓固定在所述石墨護板頂部。
3.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述隔熱籠包括隔熱頂板、隔熱底板和中間的側隔熱籠,其中所述石墨護板與所述側隔熱籠相對設置,所述石墨護板與側隔熱籠相對的表面為凹凸結構,所述側隔熱籠的內壁對應設成光滑表面,其中所述石墨蓋板與所述隔熱頂板相對設置,所述石墨蓋板與隔熱頂板相對的表面為凹凸結構,所述隔熱頂板的內表面對應設成光滑表面。
4.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述隔熱籠的內壁上設置有具有光滑表面的石墨紙。
5.根據權利要求4所述的多晶硅鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述石墨紙粘貼或通過石墨螺栓固定在所述隔熱籠的內壁上。
6.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐熱場結構,其特征在于,所述凹凸結構呈波形。
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