[實用新型]梳狀氣體混合單元及梳狀氣體混合器

有效

• 申請號: 201320288583.3
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN203360571U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 王奉瑾
• 申請（專利權）人: 王奉瑾
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.梳狀氣體混合單元，其特征在于：包括一密封箱體，所述密封箱體內設有承載板；所述承載板一側設有若干鍍膜區域，另一側對應各所述鍍膜區域設有若干噴氣組件；所述噴氣組件包括至少兩個進氣腔，任一所述進氣腔上遠離所述承載板的第一箱壁上開設有進氣口、靠近所述承載板的第二箱壁上開設有若干個噴氣口，所述噴氣口與所述承載板間距設置。

2.根據權利要求1所述的梳狀氣體混合單元，其特征在于：所述進氣腔包括遠離所述承載板的氣體擴散部和靠近所述承載板的氣體混合部，所述氣體擴散部橫截面大于所述氣體混合部橫截面，所述進氣口設于所述氣體擴散部上，所述噴氣口設于所述氣體混合部上。

3.根據權利要求2所述的梳狀氣體混合單元，其特征在于：所述氣體擴散部和所述氣體混合部之間通過橫截面漸變的氣體過渡部連接。

4.根據權利要求3所述的梳狀氣體混合單元，其特征在于：所述氣體過渡部橫截面由靠近所述氣體擴散部向靠近所述氣體混合部逐漸變小。

5.根據權利要求2所述的梳狀氣體混合單元，其特征在于：所述氣體混合部外圍設有冷卻裝置。

6.梳狀氣體混合器，其特征在于：包括若干如權利要求1-5任一項所述的梳狀氣體混合單元及數量與同一所述梳狀氣體混合單元上所述進氣口數量相等的進氣主管，各所述梳狀氣體混合單元上位置相同的進氣口通過進氣支管與同一進氣主管連接。