[實用新型]MEMS模塊及基于該模塊的控制系統

有效

• 申請號: 201320287262.1
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN203255964U
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 劉德平;王輝;陸雅亮
• 申請（專利權）人: 安徽海聚信息科技有限責任公司
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS模塊，包括電路基板、設于該電路基板上的用于接收信號的信號接收單元、信號處理模塊及通信單元，其特征在于：所述電路基板為柔性電路基板，所述信號處理單元的輸入端連接信號接收單元，其輸出端連接所述通信單元的輸入端。?

2.如權利要求1所述MEMS模塊，其特征在于:所述柔性電路基板上設有RS485接口，所述信號處理模塊通過RS485接口與該柔性電路基板相連。?

3.如權利要求2所述MEMS模塊，其特征在于:所述RS485接口包括平衡驅動器和差分接收器，其中差分接收器的輸入端與所述平衡驅動器的輸出端相連，所述差分接收器的輸出端連接所述信號處理模塊。?

4.如權利要求1所述MEMS模塊，其特征在于：所述信號處理模塊，包括A/D轉換模塊、數字信號處理單元、D/A轉換模塊，其中該數字信號處理單元的輸入端與A/D轉化模塊相連，其輸出端連接D/A轉換模塊。?

5.如權利要求4所述MEMS模塊，其特征在于：所述信號處理模塊還包括用于提供電源的電源模塊，所述電源模塊分別與D/A轉化模塊和A/D轉換模塊的輸入端相連。?

6.如權利要求1所述MEMS模塊，其特征在于：所述信號接收單元為貼片式天線。?

7.一種基于如權利要求1所述MEMS模塊的控制系統，其包括用于采集被測物數據的MEMS傳感器模塊、接收并處理MEMS傳感器模塊發出信息的MEMS模塊、管理模塊及與所述管理模塊相連的微執行器，其特征在于：所述MEMS模塊與管理模塊相互連接。?

8.如權利要求7所述基于MEMS模塊的控制系統，其特征在于：所述MEMS傳感器模塊設有無線發射模塊，所述無線發射模塊用于將MEMS傳感器模塊采集到數據發送至MEMS模塊。?

9.如權利要求7所述基于MEMS模塊的控制系統，其特征在于：?所述MEMS傳感器模塊包括壓力傳感器和加速度傳感器。?

10.如權利要求7所述基于MEMS模塊的控制系統，其特征在于：所述微執行器包括微型馬達、微型鑷子、微型泵、微型閥、微型光學器件、打印機噴頭和硬盤磁頭。?

11.如權利要求7所述基于MEMS模塊的控制系統，其特征在于：所述MEMS傳感器模塊設有用于校準所述MEMS傳感器模塊的數據的校準模塊。?