[實(shí)用新型]電子槍用坩堝換位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320287190.0
• 申請(qǐng)日: 2013-05-23
• 公開（公告）號(hào): CN203307423U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁永旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C14/30
• 分類號(hào): C23C14/30
• 代理公司: 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;趙鎮(zhèn)勇

1.一種電子槍用坩堝換位裝置，包括：

連接坩堝的坩堝連接部；

傳動(dòng)軸，其頂端與坩堝連接部連接；

密封座，套設(shè)有所述傳動(dòng)軸外；

電機(jī)固定座，設(shè)置在所述密封座下方，通過支柱與所述密封座固定連接；

其特征在于，包括：

步進(jìn)電機(jī)，設(shè)置在所述電機(jī)固定座上；

軸套，連接所述傳動(dòng)軸與所述步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸；

光耦板，設(shè)置在所述電機(jī)固定板上，其上設(shè)有一光耦片；

遮光片，其底端設(shè)置在所述軸套上，前端能對(duì)應(yīng)遮擋所述光耦板的光耦片。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述遮光片為L型結(jié)構(gòu)，其前端朝向所述電機(jī)固定座上的所述光耦板方向。

3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述光耦板的光耦片為截面是U型的光耦片。

4.權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述遮光片前端設(shè)置在所述光耦板的光耦片內(nèi)。