[實用新型]一種電子槍坩堝的冷卻裝置

有效

• 申請號: 201320287125.8
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN203307422U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 袁永旭
• 申請（專利權）人: 北京北儀創新真空技術有限責任公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;趙鎮勇

技術領域

本實用新型涉及一種電子槍坩堝的冷卻裝置。

背景技術

目前，鍍膜機已經被廣泛應用，制鍍薄膜尤其廣泛，其制作的各種薄膜被應用到各光電系統及光學儀器中。在鍍膜機工作過程中，處在真空（空氣極其稀薄）中的電子槍產生高能電子會使坩堝內溫度升至700～3600℃，如此高的溫度會使坩堝熔化而被破壞，為了避免這類情況發生，有效地冷卻坩堝是一項關鍵技術。現有技術的采用如圖1、2所示結構，冷卻水水流沿坩堝1外壁和水套2的進水口21進入，沿外套2之間的空腔3之間旋轉一周后經出水口22流出。但這種冷卻結構存在的問題是：坩堝只有側壁有冷卻水，而下方無冷卻水，坩堝的冷卻不充分。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種電子槍坩堝的冷卻裝置，能使坩堝底部充分冷卻，解決目前通過外壁上設置水套冷卻的電子槍坩堝底部冷卻不充分問題。

解決上述技術問題的技術方案如下：

本實用新型實施例提供一種電子槍坩堝的冷卻裝置，包括：

圓筒狀本體，其上端開口，開口內設有容置電子槍坩堝的空間；

所述圓筒狀本體上設有連通圓筒狀本體內外的兩個透水孔；

所述圓筒狀本體內沿側壁設有弧形通道，所述弧形通道的一端口與一個所述透水孔連通；

所述弧形通道的另一端口與所述圓筒狀本體內底板上設置的折彎通道一端連接；

所述折彎通道的另一端與另一個所述透水孔連通。

本實用新型的有益效果：由于沿側壁設有弧形通道，并且該弧形通道與底板上的折彎通道連通，從而在圓筒狀本體內的側壁和底板上均設有冷卻用通道，從而在保證對坩堝的側壁冷卻的同時，對其底部也可以進行充分冷卻，很好的解決了目前通過外壁上設置水套冷卻的電子槍坩堝底部冷卻不充分問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域的普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他附圖。

圖1為現有技術的電子槍坩堝的冷卻裝置示意圖；

圖2為現有技術的電子槍坩堝的冷卻裝置俯視圖；

圖3為本實用新型實施例提供的電子槍坩堝的冷卻裝置示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的電子槍坩堝的冷卻裝置俯視圖。

具體實施方式

下面對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型的保護范圍。

本實用新型實施例提供一種電子槍坩堝的冷卻裝置，如圖3、4所示，該裝置包括：圓筒狀本體31，其上端開口32，開口32內設有容置電子槍坩堝的空間，電子槍坩堝可以座在所述圓筒狀本體31內；

在圓筒狀本體31上設有連通圓筒狀本體內外的兩個透水孔35、36，可以作為進、出水孔；

在圓筒狀本體內沿側壁設有弧形通道33，弧形通道33環繞內側壁設置，弧形通道33的一端口與一個透水孔35連通；弧形通道的另一端口與圓筒狀本體31內底板上設置的折彎通道34一端連接，折彎通道34的另一端與另一個透水孔36連通。這樣弧形通道33與折彎通道34與兩個透水孔配合，在圓筒狀本體形成一條整體的通道，該通道形成沿側壁走向的高位置通道，和沿底板走向的低位置通道，當圓筒狀本體內裝入電子槍坩堝后，高位置通道可以為電子槍坩堝的側壁提供冷卻，低位置通道可為電子槍坩堝的低部提供冷卻。

上述冷卻裝置中，弧形通道33由設置在圓筒狀本體31內側壁和底板上的第一肋板37與所述側壁配合構成；

所述第一肋板37由豎直肋板371和具有開口的弧形肋板372連接而成，豎直肋板371豎直設置在圓筒狀本體31內的側壁上，豎直肋板371的底端與設置在圓筒狀本體31內的底板上的具有開口的弧形肋板372一端連接。

上述冷卻裝置中，折彎通道33由設置在圓筒狀本體31內側壁上的第二肋板38與第一肋板37配合構成；