[實用新型]一種具有強行控制裝置的循環供應系統

有效

• 申請號: 201320284878.3
• 申請日: 2013-05-22
• 公開（公告）號: CN203266428U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 張文武;太雙;刁春華;周鵬;楊洪;廖偉杰
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;F17D1/14
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 李儀萍

技術領域

本實用新型涉及半導體工藝領域，特別是涉及一種具有強行控制裝置的循環供應系統。

背景技術

在半導體制造領域，很多制程需要大量的易燃和高腐蝕的化學品來滿足生產的需要，比如，化學機械拋光（Chemical?Mechanical?Polishing，CMP）制程，這種拋光方法通常是將待拋光的晶圓由拋光頭夾持，并將其以一定壓力壓于一高速旋轉的拋光墊上，并在包含有化學拋光劑和研磨顆粒的拋光漿料的作用下通過拋光墊與晶片的相互摩擦達到平坦化的目的，其中，拋光漿料的供應便是通過一循環供應系統來實現。在循環供應系統中，一般采用循環泵作為輸送動力的來源，循環泵由具有可編程邏輯控制器PLC的控制系統來控制，循環供應系統要求二十四小時不中斷。對于容易結晶的的循環系統，對循環泵的要求尤其高，因為一旦循環泵出現狀況不工作，化學品便會發生結晶，使整個管路出現擁堵，甚至癱瘓。

現有的循環供應系統的控制系統如圖1所示，該控制系統用于控制管路中循環泵，所述控制系統是由循環泵2A、泵信號控制器1A、可編程邏輯控制器（PLC）3A、電磁閥36A和調壓閥37A構成。所述循環泵由兩側的第一開關傳感器21A、第二開關傳感器22A和第一開關傳感器21A、第二開關傳感器22A之間的活塞23A組成，當循環泵2A內部的活塞23A碰到一側的開關傳感器時，該信號傳遞給泵信號控制器1A，泵信號控制器1A進而將信號傳遞給PLC3A，PLC3A控制電磁閥36A是否得電，使電磁閥36A進行內部氣腔的切換，氣腔切換后，控制循環泵2A中的活塞23A從一側的開關傳感器運動到另一側的開關傳感器，如此循環，使循環供應系統可以持續的工作。但是，如果控制系統中線路有問題、循環泵2A便無法正常工作；如果泵信號控制器1A或PLC3A有問題，循環泵2A也沒法正常工作，這將會給制程帶來極大的影響，而目前還沒有一種用于強行啟動循環泵2A的裝置。

因此，設計一種具有強行控制裝置的循環供應系統實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種具有強行控制裝置的循環供應系統，用于解決現有技術中控制循環泵的控制系統出現問題時循環泵不能啟動的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種具有強行控制裝置的循環供應系統，用于提供半導體設備所需液體，所述循環供應系統至少包括：供應管路結構和強行控制裝置；

所述供應管路結構至少包括：用于盛放所需液體的供應箱；用于提供動力來源的循環泵，該循環泵與所述供應箱的出口相連；

所述強行控制裝置用于緊急情況下強行啟動所述循環泵，所述強行控制裝置與供應管路結構中循環泵相連。

優選地，所述供應管路結構還包括：

用于過濾液體中雜質的過濾器，該過濾器與所述循環泵的出口相連；

所述供應箱的入口處連接有備壓閥和與備壓閥的入口相連的第一壓力傳感器；所述供應箱的出口與循環泵的入口之間還依次連接有第一氣動閥和第二氣動閥；所述循環泵的出口和過濾器的入口之間還依次連接有第三氣動閥和第二壓力傳感器；所述過濾器的出口連接有第三壓力傳感器和與第三壓力傳感器的出口相連的第四氣動閥；所述液體經第四氣動閥后循環進入第一壓力傳感器的入口。

優選地，所述強行控制裝置包括：

將電源電壓轉變為所述強行控制裝置所需電壓的變壓器；

由所述變壓器接出的正極和負極；連接在所述正極和負極之間的第二時間繼電器、連接在所述正極和負極之間的第一時間繼電器；所述第二時間繼電器與第一時間繼電器相連；

設置在所述正極上的總開關；

與所述第一時間繼電器連接的普通繼電器，所述普通繼電器得失電由第一時間繼電器控制；

與所述總開關和所述普通繼電器分別相連接的電磁閥，所述電磁閥具有氣腔，所述電磁閥氣腔的出口與循環供應系統中循環泵連接。

優選地，所述電源電壓的范圍為100～250V。

優選地，所述循環泵包括分別設于循環泵兩側的第一開關傳感器和第二開關傳感器、設于所述第一開關傳感器和第二開關傳感器之間且用于控制循環供應系統中管道液體通斷的活塞。

優選地，所述電磁閥氣腔的入口連接有氣源，所述氣源與電磁閥之間還設有用于調節氣壓的調壓閥。

優選地，所述氣源為壓縮空氣。

優選地，所述強行控制裝置中還包括一與所述變壓器相連的插頭。