[實(shí)用新型]一種排氣管道

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320280584.3
• 申請日: 2013-05-21
• 公開（公告）號: CN203454835U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝少華;侯智;吳代吾;楊子衡;王明明;喻玥;胡偉;肖冠華
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: F28B3/00
• 分類號: F28B3/00
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及氣體冷凝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種排氣管道。

背景技術(shù)

隨著九十年代薄膜場效應(yīng)晶體管-液晶顯示器(Thin?Film?Transistor-Liquid?Crystal?Display，簡稱TFT-LCD)技術(shù)的成熟，液晶顯示面板由于其平板、輕薄、低功耗、多樣化、環(huán)保性等優(yōu)點(diǎn)得到迅速發(fā)展。隨著玻璃基板大型化，為保證產(chǎn)品的合格率，各步工藝的均一性面臨更大挑戰(zhàn)。清洗、濕刻及剝離是TFT-LCD工藝中三個(gè)重要環(huán)節(jié)。清洗是對投入的以及成膜前的玻璃進(jìn)行清洗用以去除各種影響品質(zhì)的顆粒；濕刻是利用混合酸液對玻璃表面光刻未覆蓋的金屬進(jìn)行刻蝕，從而形成所需要的金屬圖案；剝離是利用剝離液對玻璃上的未被顯影的光刻膠進(jìn)行去除。

在實(shí)際工藝過程中，設(shè)備反應(yīng)單元均安裝排氣管道用以對反應(yīng)區(qū)間揮發(fā)的氣體進(jìn)行冷凝回收，目的為減少生產(chǎn)事故，提高產(chǎn)品品質(zhì)，降低成本。在實(shí)際應(yīng)用中，排氣管道的形狀以及內(nèi)部結(jié)構(gòu)對冷凝的效果以及成本的控制有很大的關(guān)聯(lián)。現(xiàn)有的排氣管道的結(jié)構(gòu)簡單，排氣管道內(nèi)部全部為空心，只靠管道外的空氣進(jìn)行冷凝，因此冷凝效果較差。冷凝回流的液體直接通過排氣管道進(jìn)入廢氣管道。這樣，藥液的使用效率較低，同時(shí)不利于成本的降低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種排氣管道，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

第一方面，提供一種排氣管道，包括：一水平設(shè)置的進(jìn)氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管，其中：

所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述第一中間管的下端連通；

所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通；

所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通；所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。

可選的，所述排氣管道還包括：一非水平設(shè)置的第一直管和一非水平設(shè)置的第二直管，其中：

所述第一直管的上端通過側(cè)管與所述進(jìn)氣管的非進(jìn)氣端連通，所述第一直管的下端通過底管與所述第一中間管的下端連通；

所述第二直管的上端通過側(cè)管與所述出氣管的非出氣端連通，所述第二直管的下端通過底管與所述第二中間管的下端連通。

可選的，所述排氣管道具有至少兩個(gè)第一中間管和至少兩個(gè)第二中間管；

所述第一中間管與所述第二中間管之間通過至少一個(gè)所述底管或至少一個(gè)所述頂管連通。

可選的，所述底管的下端設(shè)置有接口。

可選的，所述第一直管的下端、所述第一中間管的下端、所述第二中間管的下端、所述第二直管的下端、所述第一直管的上端、所述第二直管的上端、所述第一中間管的上端和所述第二中間管的上端設(shè)置有接口。

可選的，所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管的內(nèi)部均設(shè)置有N個(gè)細(xì)直管；

所述細(xì)直管之間的空隙的上端和下端密封；其中，N為正整數(shù)。

可選的，所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于進(jìn)氣的一端設(shè)置成凹形曲面；

所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于出氣的一端設(shè)置成平面。

可選的，所述細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝劑。

可選的，所述第一中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度；

所述第二中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度。

可選的，所述出氣管上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥。

本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的排氣管道，通過將排氣管道采用多個(gè)彎管式的走向設(shè)計(jì)，提高了產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的另一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的又一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型的另一實(shí)施例提供的一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的一種排氣管道的第一直管、第二直管、第一中間管和第二中間管的進(jìn)氣端的側(cè)面圖；