[實(shí)用新型]基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320279910.9
• 申請(qǐng)日: 2013-05-21
• 公開（公告）號(hào): CN203300613U
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭圣醮;程昭榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 王晶

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種翻轉(zhuǎn)設(shè)備，尤其涉及一種能于基板加工前進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動(dòng)作，使各基板呈立置狀態(tài)以利于后續(xù)加工的翻轉(zhuǎn)設(shè)備。

背景技術(shù)

按，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，半導(dǎo)體相關(guān)的加工技術(shù)亦隨之廣泛應(yīng)用，舉玻璃基板的涂布加工為例，通常將一預(yù)設(shè)的涂布液涂布于該玻璃基板上，并配合涂布裝置將玻璃基板表面的涂布液伸展，進(jìn)而使涂布液能于玻璃基板表面形成涂布膜。

以習(xí)知基板加工前(以涂布為例，其他如清洗或蝕刻等流程亦相同)的備置型態(tài)而言，通常通過人力將每一片基板依序排列于一架體上，且為了能方便輸送、取出基板，作業(yè)人員通常由架體橫向置入使各基板呈橫置狀態(tài)后輸送至涂布加工處，惟，基于考慮各基板表面涂布的均勻度，故涂布時(shí)必須于各基板呈立置狀態(tài)下進(jìn)行，因此當(dāng)架體連同基板一并輸送至涂布加工處時(shí)，則又必須由作業(yè)人員將各基板取下后翻轉(zhuǎn)呈立置狀態(tài)，再放置回架體上才得以進(jìn)行后續(xù)涂布加工流程，導(dǎo)致人力及時(shí)間成本大幅提高，亦會(huì)產(chǎn)生加工效率不佳的缺弊，此外，由人力排列基板的備置型態(tài)容易因各基板未確實(shí)排列放置于正確位置、角度而影響加工成品，進(jìn)而產(chǎn)生成品質(zhì)量不佳的問題點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備，包括一設(shè)備主體，具有立向延伸的一主架體，該主架體底部設(shè)置有一著置部；一籠狀架體，包括由縱、橫向間隔交錯(cuò)排列的框條所構(gòu)成中空籠狀型態(tài)，該籠狀架體的一側(cè)向形成有開放端，且該籠狀架體內(nèi)設(shè)置有呈上、下間隔排列的至少兩組承載構(gòu)件，藉以能將至少兩組基板由籠狀架體的開放端橫向置入，令各基板承靠限位于每一組承載構(gòu)件之間而呈上、下間隔排列狀態(tài)；一升降輸送單元，設(shè)置于該設(shè)備主體預(yù)定位置處，能載送該籠狀架體并沿著主架體作上升或下降動(dòng)作；一夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于主架體一預(yù)定高度位置處，構(gòu)成當(dāng)升降輸送單元載送置入基板的籠狀架體上升至預(yù)定高度時(shí)，該夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夾持并帶動(dòng)籠狀架體翻轉(zhuǎn)一角度，使基板呈立置狀態(tài)后導(dǎo)送至后續(xù)加工流程處；且其中，當(dāng)該籠狀架體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的過程中，該升降輸送單元先下降至一高度位置，待翻轉(zhuǎn)動(dòng)作完成再度上升承接該籠狀架體；

藉此獨(dú)特創(chuàng)新設(shè)計(jì)，使本實(shí)用新型對(duì)照先前技術(shù)而言，俾能通過該夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)籠狀架體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動(dòng)作的結(jié)構(gòu)型態(tài)，以使每一組基板于加工前皆呈間隔立置狀態(tài)，令后續(xù)進(jìn)行加工時(shí)各基板表面加工程度皆能均勻一致，達(dá)到快速、節(jié)省人力以及大幅提升加工效果、加工效率與成品質(zhì)量等產(chǎn)業(yè)實(shí)用效益。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖3為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖4為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖5為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖6為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖7為本實(shí)用新型另一實(shí)施型態(tài)的示意圖。

圖8為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。

圖9為本實(shí)用新型夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與籠狀架體的框條配合型態(tài)的立體圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖1至6，本實(shí)用新型基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備包括：

一設(shè)備主體10，具有立向延伸的一主架體11，該主架體10底部設(shè)置有一著置部12；

一籠狀架體20，包括由縱、橫向間隔交錯(cuò)排列的框條21所構(gòu)成中空籠狀型態(tài)，該籠狀架體20的一側(cè)向形成有開放端22，且該籠狀架體20內(nèi)設(shè)置有呈上、下間隔排列的至少兩組承載構(gòu)件23，藉以能將至少兩組基板A由籠狀架體20的開放端22橫向置入，令各基板A承靠限位于每一組承載構(gòu)件23之間而呈上、下間隔排列狀態(tài)；其中所述的承載構(gòu)件23包括設(shè)置于籠狀架體20框條21相異于開放端22一側(cè)的至少兩支撐塊231以及上、下間配置且具有支撐柱232的至少兩個(gè)橫架桿233所構(gòu)成(請(qǐng)配合參閱圖1、2)，其中各橫架桿233所設(shè)支撐柱232之間呈上、下間隔相對(duì)狀態(tài)，構(gòu)成當(dāng)基板A置入籠狀架體20時(shí)，使得該基板A其中一端面能抵靠于支撐塊231，并使該基板A表面能位于上、下間隔相對(duì)的支撐柱232間呈抵靠限位狀態(tài)；

一升降輸送單元30，設(shè)置于該設(shè)備主體10預(yù)定位置處，能載送該籠狀架體20并沿著主架體11作上升或下降動(dòng)作；該升降輸送單元30實(shí)施上包括具有至少兩個(gè)滾動(dòng)裝置31的一輸送臺(tái)32以及用以驅(qū)動(dòng)該滾動(dòng)裝置31的驅(qū)動(dòng)馬達(dá)33所構(gòu)成，當(dāng)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)33驅(qū)使?jié)L動(dòng)裝置31作動(dòng)時(shí)，能使該輸送臺(tái)32進(jìn)行輸送動(dòng)作；