[實用新型]一種基于MEMS開關的溫度保護器件有效

申請號：	201320275182.4	申請日：	2013-05-20
公開（公告）號：	CN203242567U	公開（公告）日：	2013-10-16
發明（設計）人：	韓磊;董雪鵬	申請（專利權）人：	東南大學
主分類號：	H01H37/32	分類號：	H01H37/32
代理公司：	南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249	代理人：	楊曉玲
地址：	211189 江***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種基于 mems 開關溫度保護器件
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【權利要求書】：

1.一種基于MEMS開關的溫度保護器件，其特征在于，該器件包括Si襯底（1）、設置在所述Si襯底（1）上的信號線（2）、微機械開關、壓焊塊（6）和鉑電阻（7），所述微機械開關由微機械開關觸頭（3）、絕緣層（4）和微機械開關V形梁（5）依次連接構成，所述信號線（2）在中間斷開，所述微機械開關觸頭（3）的一端正對信號線（2）的斷開處設置，另一端通過絕緣層（4）與微機械開關V形梁（5）的驅動端連接，微機械開關V形梁（5）的兩個錨區端分別與一個壓焊塊（6）連接，其中一個壓焊塊（6）接地，另一個壓焊塊（6）通過鉑電阻（7）與電源連接。

2.根據權利要求1所述的基于MEMS開關的溫度保護器件，其特征在于，所述的鉑電阻（7）作為溫度感應元件。

3.根據權利要求1所述的基于MEMS開關的溫度保護器件，其特征在于，所述的微機械開關作為驅動元件。

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