[實用新型]一種石英坩堝的檢測裝置有效
| 申請號: | 201320275003.7 | 申請日: | 2013-05-20 |
| 公開(公告)號: | CN203275317U | 公開(公告)日: | 2013-11-06 |
| 發明(設計)人: | 余小金;郜勇軍 | 申請(專利權)人: | 浙江矽盛電子有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/89 | 分類號: | G01N21/89 |
| 代理公司: | 杭州九洲專利事務所有限公司 33101 | 代理人: | 陳繼亮 |
| 地址: | 324300 浙江省衢*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 坩堝 檢測 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種石英坩堝的檢測裝置。
背景技術
目前,在直拉單晶硅生產過程中,石英坩堝是單晶爐中的一種非常重要的部件,如有氣泡或者裂紋等,在單晶爐升溫后就會出現漏硅現象,就會整爐材料報廢,造成重大的經濟損失。
發明內容
本實用新型的目的是提供能方便、快捷檢測氣泡或裂紋的一種石英坩堝的檢測裝置。
本實用新型采取的技術方案是:一種石英坩堝的檢測裝置,包括光源、支撐臺板、軸承、中心軸和底座,其特征在于中心軸的一端垂直豎立在底座上,中心軸的另一端連接有支撐臺板,支撐臺板通過軸承可圍繞中心軸旋轉,在支撐臺板的中心處設置有光源。
采用本實用新型,可以將石英坩堝放置在支撐臺板,光源通電打開后就可以邊旋轉支撐臺板邊檢測石英坩堝是否有氣泡或者裂紋,既方便又快捷。
附圖說明
圖1為本實用新型的示意圖。
圖中的序號表示:光源1、支撐臺板2、軸承3、中心軸4和底座5。
?具體實施方式
下面結合具體的實施例對本實用新型作進一步說明。
參照圖1,該石英坩堝的檢測裝置包括光源1、支撐臺板2、軸承3、中心軸4和底座5,中心軸4的一端垂直豎立在底座5上,中心軸4的另一端連接有支撐臺板2,支撐臺板2通過軸承3可圍繞中心軸4旋轉,在支撐臺板2的中心處設置有光源1。使用時,可以將石英坩堝放置在支撐臺板2,光源1通電打開后就可以邊旋轉支撐臺板2邊檢測石英坩堝是否有氣泡或者裂紋,既方便又快捷。?
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