[實(shí)用新型]玻璃粉涂刮用塑料刀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320272685.6
• 申請(qǐng)日: 2013-05-20
• 公開（公告）號(hào): CN203316360U
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卞家奇;陳實(shí);呂春林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州中芯晶來(lái)半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): B05C17/10
• 分類號(hào): B05C17/10
• 代理公司: 揚(yáng)州蘇中專利事務(wù)所(普通合伙) 32222
• 代理人: 許必元

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中臺(tái)面的玻璃粉涂刮工藝的工裝具，具體是玻璃粉涂刮用塑料刀，屬于玻璃粉涂刮用工裝具設(shè)計(jì)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

使用臺(tái)面工藝結(jié)構(gòu)生產(chǎn)的可控硅和其他高壓器件在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中已經(jīng)有比較成熟的工藝。使用臺(tái)面工藝制作半導(dǎo)體器件時(shí)，其中一個(gè)非常重要的工步就是在光刻形成臺(tái)面槽以后，給臺(tái)面槽內(nèi)填充專用的糊狀玻璃粉。

臺(tái)面槽填充糊狀玻璃粉的方法主要有三種：電泳法、勻膠法和人工涂刮法。前兩種方法需要專用的設(shè)備和特殊的材料，成本高。人工涂刮法只需要配套凈化臺(tái)和臺(tái)面槽填充所需用的夾具和工具，操作簡(jiǎn)便，成本低，成品率較高，適用于大批量生產(chǎn)，目前普遍為國(guó)內(nèi)生產(chǎn)廠家所采用。

人工涂刮法是將待實(shí)施臺(tái)面槽填充的產(chǎn)品放置在一個(gè)夾具上，利用真空吸力將產(chǎn)品固定好，并將適量的糊狀玻璃粉（由專門工藝方法制作）放置到產(chǎn)品上，然后使用玻璃粉涂刮工具在產(chǎn)品表面上反復(fù)涂刮，將糊狀的玻璃粉填充到臺(tái)面槽中，要求將槽填實(shí)、填平，并且槽外的平面上殘留的玻璃粉越少越好。

原有的涂刮工具是金屬單面刀片，在涂刮過程中有金屬微粒進(jìn)入玻璃粉中會(huì)對(duì)產(chǎn)品性能質(zhì)量造成影響，且刀口尺寸僅30毫米左右，對(duì)于大尺寸的硅片如直徑100mm（4吋片）、125mm（5吋片?）需要多次涂刮才能覆蓋全片，不僅玻璃粉的殘留現(xiàn)象較為嚴(yán)重，而且金屬單面刀片的鋒利刀刃常常易將硅片表面劃傷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型就是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)問題，提供一種結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、使用方便、生產(chǎn)制造容易的玻璃粉涂刮用塑料刀。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，玻璃粉涂刮用塑料刀，包括把手、刮刀，其特征是，把手包括由塑料螺釘緊固連接的上刮板把手、中刮板把手、下刮板把手，刮刀構(gòu)成，中刮板把手設(shè)置在上刮板把手、下刮板把手構(gòu)成的夾槽中，且刮刀的刀口伸出夾槽，所述的刮刀的厚度比中刮板把手的厚度厚0.2mm-0.4mm，刮刀為聚氨酯材料制成。

所述的上刮板把手、中刮板把手、下刮板把手采用PVC材料制成。

所述的塑料螺釘采用PVC材料制成。

所述的刮刀的刀口寬度為100mm或125mm，厚度為0.6mm。

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理簡(jiǎn)單、使用方便、生產(chǎn)制造容易。通過本實(shí)用新型，上刮板把手與下刮板把手用塑料螺釘把刮刀和中刮板把手緊固在一起，由于刮刀的厚度比中刮板把手的厚度略高0.3毫米，因此當(dāng)上、中、下刮板把手被塑料螺釘緊固時(shí)，刮刀就緊緊地被固定夾在其間，則就可以用手工來(lái)把玻璃粉刮到臺(tái)面槽內(nèi)的自如操作。刮刀為聚氨酯塑料材料制成，聚氨酯為一種耐磨損且不含金屬離子材料，具有一定的強(qiáng)度和耐磨性，彈性和韌性也非常好，使用這樣的刮刀在涂刮過程中可以有效避免金屬離子進(jìn)入玻璃粉中隊(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。由于新的涂刮工具刮刀尺寸較原來(lái)的大，刮刀長(zhǎng)為100mm，寬為0.6mm，相對(duì)于4寸芯片而言較為合理，提高了玻璃粉的涂刮填充效率。上刮板把手、中刮板把手、下刮板把手采用PVC材料制成，硬度較好，光滑潔凈。刮刀鑲嵌在上刮板把手、中刮板把手、下刮板把手構(gòu)成的把手里，用塑料螺釘固定，當(dāng)刮刀磨損后可以旋開塑料螺釘更換新的刀片。由于玻璃粉涂刮用塑料刀是全塑料的，耐酸堿，不怕腐蝕，使用前進(jìn)行清潔處理對(duì)其力學(xué)性能和沾污沒有影響。

本實(shí)用新型的相比較之前的產(chǎn)品，具有的優(yōu)點(diǎn)為：

（1）玻璃粉填充后，在硅片表面殘留明顯減少，表面質(zhì)量和槽填充質(zhì)量均得到提高。

（2）新的涂刮工具尺寸較原來(lái)的大，相對(duì)于4寸芯片而言較為合理，提高了玻璃粉的涂刮填充效率。

（3）原有的涂刮工具是金屬刀片，通常認(rèn)為在涂刮過程中有金屬離子進(jìn)入玻璃粉中會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響，新的玻璃粉涂刮用塑料刀采用耐磨損塑料制作，不含金屬離子。

（4）由于新的玻璃粉涂刮用塑料刀硬度較原來(lái)用的涂刮工具單面刀片低，投入使用后，在涂刮過程中不容易損傷產(chǎn)品表面，相對(duì)而言產(chǎn)品的表面質(zhì)量有較大的提高，就產(chǎn)品合格率得到提高。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型A-A方向剖視圖。

圖中：1上刮板把手、2中刮板把手、3下刮板把手、4塑料螺釘、5刮刀。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及其附圖說明對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明。

實(shí)施例1