[實用新型]測試電路及測試裝置

有效

• 申請號: 201320268681.0
• 申請日: 2013-05-16
• 公開（公告）號: CN203241477U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 郭會斌;劉曉偉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G01R27/08
• 分類號: G01R27/08;G01B7/06
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本實用新型涉及設備檢測領域，尤其涉及一種測試電路及測試裝置。

背景技術

方塊電阻，簡稱方阻，又稱膜電阻，方塊電阻有一個特性，即任意大小的正方形測量值都是一樣的，方阻的大小僅與導電薄膜的厚度有關，因此應用方塊電阻的測量，用于檢測導電薄膜的厚度，在導電薄膜生產過程中監控膜厚均勻性，得到廣泛的應用。

四探針方塊電阻測試裝置，是目前比較常用的方塊電阻測試裝置，如圖1所示為現有的四探針方塊電阻測試電路示意圖，主要由包括有電流表和電壓表的方塊電阻測試電路以及與方塊電阻測試電路連接的四個探針組成，通過四個探針與待檢測導電薄膜接觸導通，從而使探針、導電薄膜和電源之間形成測量回路，通過讀取電流表與電壓表的示數，能夠測量得到導電薄膜的方塊電阻，然后按照公式Rs=ρ/t計算得到導電薄膜的膜厚，其中，Rs為方塊電阻，ρ為導電薄膜的電阻率，t為導電薄膜的膜厚。

然而在進行方塊電阻測試過程中，四個探針往往不能全部與待檢測導電薄膜接觸，進而無法形成測量回路，無法完成方塊電阻的測試，以及實現對導電薄膜生產過程中膜厚均勻性的監控。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種測試電路及測試裝置，以解決現有的方塊電阻測試電路由于不能確定未與待檢測導電薄膜接觸的探針，無法完成方塊電阻的測試以及實現對導電薄膜生產過程中膜厚均勻性監控的問題。

本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的：

本實用新型提供了一種測試電路，應用于方塊電阻測試，包括方塊電阻測試子電路，所述方塊電阻測試子電路中包括電流源，還包括：與所述方塊電阻測試子電路連接的探針，以及設置于所述電流源與所述探針之間的第一開關控制電路；其中，

所述第一開關控制電路用于控制是否將方塊電阻測試子電路電流源信號輸入至與其連接的探針。

較佳的，所述探針為單探針，所述第一開關控制電路包括：與各個所述探針分別連接的單刀單擲開關。

較佳的，所述探針為雙探針，所述測試電路還包括：第二開關控制電路和探測電路，所述探測電路包括有電流源，其中，

所述雙探針通過所述第一開關控制電路與方塊電阻測試子電路電流源連接，并通過所述第二開關控制電路與探測電路電流源連接。

進一步的，所述第一開關控制電路包括：與各個所述雙探針中的一個探針分別連接的單刀雙擲開關；

所述第二開關控制電路包括：與各個所述雙探針中未與所述方塊電阻測試子電路電流源連接的另一個探針連接的單刀單擲開關。

進一步的，所述第一開關控制電路包括一個單刀單擲開關；

所述第二開關控制電路包括：與各個所述雙探針分別連接的雙刀單擲開關。

進一步的，所述第一開關控制電路包括一個單刀單擲開關；

所述第二開關控制電路包括：與各個所述雙探針的兩個探針分別獨立連接的單刀單擲開關。

進一步的，所述探測電路還包括一電流表，用于探測通電的雙探針與所述探測電路電流源之間是否通過待檢測導電薄膜導通。

本實用新型還提供了一種測試裝置，該測試裝置包括上述測試電路。

本實用新型提供的測試電路和測試裝置，在方塊電阻測試子電路與探針之間設置第一開關控制電路，當探針為單探針時，應用本實用新型提供的測試電路能夠通過第一開關控制電路依次控制任意兩相鄰探針通電，利用方塊電阻測試子電路能夠分別確定出與待檢測導電薄膜導通的探針和未導通的探針，即能夠確定通電的探針與待檢測導電薄膜的是否接觸，實現對導電薄膜生產過程中膜厚均勻性的監控。當探針未雙探針時，通過設置第二開關控制電路和包括有電流源的探測電路，通過第一開關控制電路和/或第二開關控制電路控制是否將探測電路的電流源信號輸入至與其連接的各個雙探針，并通過第二開關控制電路依次控制每個雙探針通電，通過探測電路探測通電的雙探針與探測電路電流源之間是否通過待檢測導電薄膜導通，能夠分別確定出與待檢測導電薄膜導通的雙探針和未導通的雙探針，即能夠確定通電的探針與待檢測導電薄膜的是否接觸，實現對導電薄膜生產過程中膜厚均勻性的監控。

附圖說明

圖1為現有技術中方塊電阻測試電路的電路示意圖；

圖2為本實用新型提供的測試電路結構構成框圖；

圖3為本實用新型提供的測試電路的電路示意圖；

圖4為本實用新型提供的開關控制探針通電示意圖；

圖5為本實用新型提供的又一測試電路結構構成框圖；