[實用新型]用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320263770.6
• 申請日: 2013-05-13
• 公開（公告）號: CN203440441U
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃世壬;廖科峰;趙亨文;賴文波;任常寶;陳官璧;汪宇炎;曾昭隆
• 申請（專利權(quán)）人: 生陽新材料科技（寧波）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;B01D8/00
• 代理公司: 廣東國欣律師事務所 44221
• 代理人: 李文

1.一種用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該真空鍍膜設(shè)備包含有一腔體及一真空泵，該冷凝裝置包含有：?

一進氣管，用以連接該腔體；?

一出氣管，用以連接該真空泵；以及?

一冷阱組件，位于該進氣管與該出氣管之間，并且具有一第一弧形彎管、一第二弧形彎管、三冷阱管及至少三障板組，該第一弧形彎管與該進氣管之間、該第一、第二弧形彎管之間及該第二弧形彎管與該出氣管之間分別藉由一該冷阱管而連接在一起，且該第一、第二弧形彎管之間具有相反的彎曲方向，各個冷阱管內(nèi)設(shè)有至少一該障板組，各個障板組具有多數(shù)個呈并排設(shè)置且間隔排列的傾斜障板及一冷卻水管，該冷卻水管具有多數(shù)條接觸段，各個接觸段貼抵于一該傾斜障板的一側(cè)面。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，各個冷阱管內(nèi)所設(shè)的至少一該障板組的數(shù)量為二個，設(shè)于各個冷阱管內(nèi)的二該障板組的傾斜障板之間呈鏡射對稱。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該冷卻水管更具有多數(shù)條穿置段，各個穿置段連接于相鄰兩該接觸段之間且穿置于一該傾斜障板內(nèi)。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該多數(shù)個傾斜障板沿著該冷阱管的徑向依序排列。?

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空鍍膜設(shè)備的冷凝裝置，其特征在于，該冷阱組件更具有一液體回收管，該液體回收管連接該第二弧形彎管。?