[實用新型]一種雙片集成式硅基超薄微半球諧振陀螺儀

有效

• 申請號: 201320260447.3
• 申請日: 2013-05-14
• 公開（公告）號: CN203310419U
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 夏敦柱;孔倫;虞成;胡異煒
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;B81B7/00;B81C1/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種雙片集成式硅基超薄微半球諧振陀螺儀，其特征在于：包括第一硅片、第二硅片、微半球殼、驅動電極和檢測電極，所述微半球殼設在第一硅片和第二硅片之間，微半球殼殼底與第二硅片固定連接，微半球殼上邊緣與第一硅片的下表面接觸；所述驅動電極設在第一硅片和第二硅片之間、微半球殼的外圍，驅動電極一端與第二硅片固定連接，另一端與第一硅片活動連接；所述檢測電極一端與第一硅片固定連接，另一端與微半球殼內壁活動連接。

2.如權利要求1所述的雙片集成式硅基超薄微半球諧振陀螺儀，其特征在于：所述微半球殼直徑為1-3毫米，厚度為5-15微米。

3.如權利要求1所述的雙片集成式硅基超薄微半球諧振陀螺儀，其特征在于：所述第一硅片上設有與驅動電極對應的插孔。

4.如權利要求1所述的雙片集成式硅基超薄微半球諧振陀螺儀，其特征在于：所述驅動電極為4n個，其中n為大于或等于1的整數。

5.如權利要求1-4任意一項所述的雙片集成式硅基超薄微半球諧振陀螺儀，其特征在于：第一硅片上、且與第二硅片相對一面設有納米吸氣劑。