[實用新型]多功能研磨液供應結構及研磨裝置有效
| 申請號： | 201320260006.3 | 申請日： | 2013-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN203245737U | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發明（設計）人： | 陳楓 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02;B24B53/017;B24B37/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多功能 研磨 供應 結構 裝置 | ||
1.一種多功能研磨液供應結構，包括橫向設置的臂桿以及穿設于所述臂桿內的研磨液管和清洗管，其特征在于，還包括環形導軌，所述環形導軌環繞設置于研磨平臺的周緣外側，所述臂桿的一端與所述環形導軌滑動連接，所述臂桿能夠沿所述環形導軌轉動，所述清洗管上設有向上噴射的清洗液的噴口。
2.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，還包括支撐架，所述支撐架設置于所述環形導軌的下方。
3.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，所述清洗管的上側沿所述清洗管的軸向間隔設有若干向上噴射的噴口。
4.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，所述清洗管的下側沿清洗管的軸向間隔設有若干向下噴射的噴口。
5.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，所述清洗管上遠離所述環形導軌的一端設有一角度可調的噴口。
6.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，所述清洗管包括水管和化學清洗液管。
7.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，所述水管的數量是一根以上，所述化學清洗液管的數量是兩個以上。
8.根據權利要求1所述的多功能研磨液供應結構，其特征在于，所述研磨液管上遠離所述環形導軌的一端設有一角度可調的噴口，所述研磨液管的上側沿研磨液管的軸向間隔設有若干向上噴射的噴口，所述研磨液管的下側沿研磨液管的軸向間隔設有若干向下噴射的噴口。
9.一種研磨裝置，包括研磨頭、研磨平臺與研磨墊，所述研磨墊鋪設于所述研磨平臺上，所述研磨頭設置于所述研磨墊上，其特征在于，還包括如權利要求1～8中任意一項所述的多功能研磨液供應結構。
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