[實(shí)用新型]表面翹曲測(cè)量板以及翹曲測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320259541.7
• 申請(qǐng)日: 2013-05-14
• 公開（公告）號(hào): CN203349789U
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金秉胄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/16
• 分類號(hào): G01B11/16
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;邱玲

1.一種表面翹曲測(cè)量板，包括：

板部分，具有平坦的表面；

第一凹槽，從板部分的表面凹入并且沿第一方向延伸；

第二凹槽，從板部分的表面凹入并且沿與第一方向交叉的第二方向延伸。

2.如權(quán)利要求1所述的表面翹曲測(cè)量板，其特征在于，第一凹槽設(shè)置成多個(gè)，并且多個(gè)第一凹槽中的每個(gè)沿第二方向彼此間隔地設(shè)置，第二凹槽設(shè)置成多個(gè)，并且多個(gè)第二凹槽中的每個(gè)沿第一方向彼此間隔地設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的表面翹曲測(cè)量板，其特征在于，第一凹槽和第二凹槽分別延伸到板部分的邊緣。

4.如權(quán)利要求1所述的表面翹曲測(cè)量板，其特征在于，第一凹槽和第二凹槽分別具有“V”形狀的豎直橫截面。

5.如權(quán)利要求4所述的表面翹曲測(cè)量板，其特征在于，第一凹槽和第二凹槽中的每個(gè)的豎直橫截面從板部分的表面以鈍角彎曲然后延伸。

6.一種翹曲測(cè)量裝置，包括：

如權(quán)利要求1到權(quán)利要求5中的任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的表面測(cè)量板，將要被測(cè)量的目標(biāo)被安裝到表面測(cè)量板；

測(cè)量單元，設(shè)置在表面測(cè)量板上并且測(cè)量目標(biāo)的翹曲。