[實用新型]一種用于室溫探測的多孔硅氨敏傳感器元件有效
| 申請號： | 201320255948.2 | 申請日： | 2013-05-11 |
| 公開（公告）號： | CN203365372U | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 胡明;李明達;曾鵬;馬雙云;閆文君 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | G01N27/26 | 分類號： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201 | 代理人： | 張宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 室溫 探測 多孔 硅氨敏 傳感器 元件 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于室溫探測的多孔硅氨敏傳感器元件，包括硅基片襯底和電極，其特征在于，所述硅基片襯底(1)為n型單晶硅基片，硅基片襯底(1)的上面設置有多孔硅層(2)，多孔硅層(2)上表面設置有鉑電極正極(3)和鉑電極負極(4)。
2.根據權利要求1的一種用于室溫探測的多孔硅氨敏傳感器元件，其特征在于，所述硅基片襯底(1)的尺寸為2.4cm×0.9cm。
3.根據權利要求1的一種用于室溫探測的多孔硅氨敏傳感器元件，其特征在于，所述硅基片襯底(1)的平均孔徑為170nm，厚度為68μm。
4.根據權利要求1的一種用于室溫探測的多孔硅氨敏傳感器元件，其特征在于，所述鉑電極正極(3)和鉑電極負極(4)為0.2cm×0.2cm的方形鉑電極，電極厚度為80nm，電極間距為8mm。
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