[實用新型]新型自動等離子體探測器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320255334.4 | 申請日: | 2013-05-10 |
| 公開(公告)號: | CN203301843U | 公開(公告)日: | 2013-11-20 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李波;吳杰峰;王海京;韋俊;余照飛;宋春 | 申請(專利權(quán))人: | 合肥聚能電物理高技術(shù)開發(fā)有限公司 |
| 主分類號: | H05H1/00 | 分類號: | H05H1/00 |
| 代理公司: | 安徽合肥華信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112 | 代理人: | 余成俊 |
| 地址: | 230031 安徽省合肥市蜀山湖路3*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 新型 自動 等離子體 探測器 | ||
1.一種新型自動等離子體探測器,其特征在于:包括有安裝法蘭,安裝法蘭的一個端面上固定有探針固定裝置,探針固定裝置上安裝有探針頭,所述的安裝法蘭的另一個端面上固定有波紋管,安裝法蘭上還固定有與波紋管平行的導桿和絲杠,絲杠上螺紋配合安裝有滑塊,滑塊上還開有一個光孔,滑塊通過光孔套裝在導桿上,波紋管的另一端固定在滑塊上,導桿遠離安裝法蘭的一端的端部自內(nèi)向外依次安裝有限位塊、波紋管法蘭、安裝板,安裝板還開有通孔使其套裝于絲杠上,安裝板上固定有一個電機,電機傳動連接一個小齒輪,絲杠的端部固定有一個軸連接件,軸連接件上固裝有一個大齒輪,所述的大齒輪與小齒輪嚙合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型自動等離子體探測器,其特征在于:所述的探針固定裝置與探針頭之間設有探針絕緣組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型自動等離子體探測器,其特征在于:所述的安裝板通過與導桿配合的鎖緊螺母固定在導桿上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型自動等離子體探測器,其特征在于:所述的安裝板內(nèi)側(cè)端面與外側(cè)端面上分別固定安裝有真空插座接頭、真空插座。
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