[實用新型]一種用于預固化設備的氣體排放裝置

有效

• 申請號: 201320254781.8
• 申請日: 2013-05-10
• 公開（公告）號: CN203241661U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 任錦宇;宋勇志
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G02F1/1337
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術領域

本實用新型涉及液晶顯示領域，尤其涉及一種用于預固化設備的氣體排放裝置。?

背景技術

在液晶面板的制作過程中，通常要在基板上涂覆一層均勻厚度的聚酰亞胺（Polyimide，PI），PI預固化(precure)是TFT-LCD（Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，即薄膜場效應晶體管液晶顯示器）制備工藝中必不可少的一個步驟，PI預固化的好壞將直接影響PI膜的質量，其中TFT-LCD是有源矩陣類型液晶顯示器(AM-LCD)中的一種。涂覆在基板上的PI液是由大量(90%以上)的有機溶劑（主要成分為氮甲基吡咯烷酮及γ-丁內酯)和少量溶解在有機溶劑中的固體有機單體組成。由于PI液含有大量易于揮發的有機溶劑，在8代線大尺寸(2.5m*2.2m)基板進行PI預固化工藝時，會有大量有機溶劑在短時間內揮發，如果不能及時將有機溶劑揮發的氣體排出，高濃度的有機溶劑氣體就會對PI膜造成損害，產生mura不良，最終影響顯示效果。?

目前的PI預固化設備排氣裝置如圖1所示，在基板01下方的右端設置噴氣管道02，在基板01下方的左端設置吸氣管道03，噴氣管道02噴出潔凈空氣或氮氣等惰性氣體，噴氣管道02噴出的氣體在基板01的上方形成由右向左的氣流，氣流有助于基板01表面上PI液中有機溶劑的揮發。過程中產生的廢氣由吸氣管道03吸收，再通過下方氣體通道送回給噴氣管道02處理，噴氣管道02對廢氣進行處理后再噴出潔凈氣體，以此循環進行氣體的噴放與吸收，加速基板上有機溶劑的揮發。但是噴氣管道在進行噴氣時，氣流在基板的邊緣沿著?斜向上的方向噴出，氣流呈類似拋物線的路徑最后斜向下被吸氣管道吸收。可見，在水平的基板上的上方形成的是不均勻不平穩的氣流，會導致基板上有機溶劑的揮發效率不相同。?

綜上所述，現有技術中的排氣裝置對有機溶劑氣體的排放效果有限，仍然很容易產生mura不良，造成顯示器亮度不均勻，在顯示器上留下痕跡，顯示效果沒有得到明顯的提升。?

實用新型內容

（一）要解決的技術問題?

針對上述缺陷，本實用新型要解決的技術問題是如何改善PI預固化設備工作時腔室內的氣體排放裝置，更加有效地將有機溶劑氣體從腔室內排出，減少對基板表面PI膜的影響，進一步提升顯示器的顯示效果。?

（二）技術方案?

為解決上述問題，本實用新型提供了一種用于預固化設備的氣體排放裝置，具體包括：?

柵板、噴氣管道和吸氣管道；?

其中所述柵板設置在基板的上方，并平行于所述基板；?

所述噴氣管道和所述吸氣管道分別設置在所述柵板兩端部的上方，且處于同一水平線上，共同平行于所述柵板，所述噴氣管道的出氣口和所述吸氣管道的進氣口相對設置，所述噴氣管道的出氣口噴出氣體，在所述噴氣管道與所述吸氣管道之間形成平穩氣流。?

進一步地，所述柵板的寬度大于所述基板的寬度。?

進一步地，所述柵板的厚度大于所述基板的厚度。?

進一步地，所述噴氣管道的最低點或所述吸氣管道的最低點與所述柵板之間的距離小于所述柵板與所述基板的距離。?

進一步地，所述氣體排放裝置還包括支撐腳，所述支撐腳均勻排列在所述基板下方，所述支撐腳的高度可調節。?

進一步地，所述柵板、所述基板、所述噴氣管道和所述吸氣管道都設置在預固化設備的腔室內，當所述腔室關閉進行預固化時所述噴氣管道開啟，當所述腔室打開時所述噴氣管道關閉。?

進一步地，所述柵板為聚四氟乙烯柵板。?

（三）有益效果?

本實用新型提出了一種用于預固化設備的氣體排放裝置，通過在預固化設備腔室內的基板上增設柵板，預固化過程中柵板上形成低氣壓區，柵板下方形成高氣壓區，揮發的有機溶劑在氣壓的作用下向低氣壓區上升，并隨著平行氣流從吸氣管道排出，有效地將有機溶劑氣體從腔室內排出，減少對基板表面PI膜的影響，從而提升顯示器的顯示效果。?

附圖說明

圖1為現有技術中預固化設備中使用的氣體排放裝置的示意圖；?

圖2為本實用新型一種用于預固化設備的氣體排放裝置的工作原理示意圖；?

圖3為本實用新型實施例中的聚四氟乙烯柵板。?

其中各編號代表結構如下：?

10、柵板，20、基板，30、噴氣管道，40、吸氣管道，50、支撐腳，a、柵板與基板的距離，b、柵板與噴氣管道最低點的距離，S、有機溶劑氣體，W、平穩氣流。?

具體實施方式