[實用新型]靜電消除器的蛇管噴頭

有效

• 申請號: 201320253910.1
• 申請日: 2013-05-10
• 公開（公告）號: CN203243589U
• 公開（公告）日: 2013-10-16
• 發明（設計）人: 秦哲仁
• 申請（專利權）人: 威馳股份有限公司
• 主分類號: H05F3/04
• 分類號: H05F3/04
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所 11276
• 代理人: 劉云貴;韓龍

技術領域

本實用新型涉及一種靜電消除器的蛇管噴頭，其用于安裝于靜電消除器上，以輸出由靜電消除器產生的帶有離子的氣體。

背景技術

靜電消除器是應用于半導體晶圓、玻璃基板或電路板等工件的制造過程中消除工件表面的靜電的裝置，其是利用放電針產生電暈放電效應而將氣體離子化，并將帶有離子的氣體通過靜電消除器的噴嘴吹至工件表面，而使工件表面的靜電被中和。

在應用上，依據工件表面積或消除靜電的表面位置的需求，靜電消除器區分有許多種類，例如小型、手持式、風扇式、棒狀，其中小型及手持式的靜電消除裝置應用于小面積、設備或工件內部、局部除電的需求。

一般而言，靜電消除器配置的位置與默認的工件位置或操作區之間會相距一工作距離，隨著工件的種類、大小或外型不同，必須調整工件位置或靜電消除器的位置，而操作不便；另外，有些工件例如圓管狀等，需要消除靜電的表面可能位于圓管狀的工件內壁，或者，在工件的特定位置的局部除電，必須人工操作調整靜電消除器及其噴嘴方向，才能使帶有離子的氣體可到達所需消除靜電的表面，導致操作復雜且不便以及時間、人力成本的浪費。

發明內容

為解決上述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于靜電消除器的蛇管噴頭，其可將帶有離子的氣體通過該蛇管噴頭由該靜電消除器引導至工件的表面，并可彎折撓曲該金屬蛇管的管身而調整金屬蛇管前端的噴嘴出口的方向，使用者只要調整金屬蛇管的管身而無需移動整個靜電消除器，可提升方便性及簡化操作。

為達上述的目的及其它目的，本實用新型的一種用于靜電消除器的蛇管噴頭，其中該靜電消除器具有一噴頭組裝口及連通該噴頭組裝口的一容置凹槽，該容置凹槽的底部凸出一供電端子，該供電端子用于提供高壓電，該蛇管噴頭包括一金屬蛇管、一管接頭、一噴嘴、一絕緣內管及一放電單元，其中，該管接頭設置于該金屬蛇管的一端，用于組裝至該噴頭組裝口；該噴嘴設置于該金屬蛇管相對于該管接頭的另一端；該絕緣內管設置于該金屬蛇管中并具有一通道及連通該通道的一第一端與一第二端，該第一端通過并凸出于該金屬蛇管的管接頭，該第二端容置于該噴嘴中；該放電單元設置于該絕緣內管的通道中并具有一導線、一放電針及一導電接頭，該導線的長度大于該通道，該導電接頭設置于該導線的一端且凸出于該絕緣內管的第一端，以用于連接該靜電消除器的供電端子，該放電針設置于該導線的另一端且凸出于該絕緣內管的第二端。

上述的蛇管噴頭中，該絕緣內管的第一端上設置有一第一固定座，該第一固定座具有多個氣體入口及一第一固定孔，該第一固定孔固定該導電接頭，以使該導電接頭抵接該靜電消除器的容置凹槽底部的供電端子。

上述的蛇管噴頭中，該第一固定座為圓板狀，該第一固定孔位于該第一固定座的中央，這些氣體入口排列環繞該第一固定孔。

上述的蛇管噴頭中，該絕緣內管的第二端設置有一第二固定座，該第二固定座具有多個氣體出口及一第二固定孔，該放電針穿過該第二固定孔。

上述的蛇管噴頭中，該第二固定座具有一圓管狀側壁及該圓管狀側壁中的一隔板，這些氣體出口及該第二固定孔貫穿該隔板，該第二固定孔位于該隔板的中央，這些氣體出口排列環繞該第二固定孔。

因此，本實用新型的蛇管噴頭，是通過在該金屬蛇管中設置由絕緣內管套設的放電單元，用戶可彎折撓曲該金屬蛇管的管身而調整金屬蛇管前端的噴嘴出口的方向，而無需移動整個靜電消除器，可提升方便性及簡化操作；并且，該放電單元具有該導線及設置于導線兩端的放電針與導電接頭，該放電針對應該蛇管噴頭的噴嘴的位置，使該放電針發生電暈放電現象的位置位于該噴嘴中，而使離子一產生便被吹出至工件表面，可減少離子因到達工件表面的距離太長而被中和的狀況，并降低漏電、電弧產生的可能。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的蛇管噴頭與靜電消除器的部分分解示意圖。

圖2為本實用新型實施例的蛇管噴頭與靜電消除器的結合示意圖。

圖3為圖2中沿A-A的剖面示意圖。

圖4為圖2中沿B-B的剖面示意圖。

【主要組件符號說明】

10??靜電消除器

11??噴頭組裝口

12??容置凹槽

13??供電端子

14??氣體管路

100?蛇管噴頭

110?金屬蛇管

120?管接頭

130?噴嘴

140?絕緣內管

141?通道

142?第一端

143?第二端

150?放電單元