[實(shí)用新型]柔性掩膜板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320250451.1
• 申請(qǐng)日: 2013-05-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203241697U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 葉向東;蔡安江;阮小光
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安建筑科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G03F1/00
• 分類號(hào): G03F1/00
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 蔡和平

1.一種柔性掩膜板，其特征在于，包括柔性基板（1），柔性基板（1）上方依次設(shè)有粘結(jié)層（2）、金屬圖形結(jié)構(gòu)層（3）和柔性封裝層（4）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性掩膜板，其特征在于，所述金屬圖形結(jié)構(gòu)層（3）和柔性封裝層（4）之間設(shè)有一層媒介層（5）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的柔性掩膜板，其特征在于，柔性基板（1）采用透明性柔性材料制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性掩膜板，其特征在于，柔性基板（1）采用聚碳酸酯或聚二甲基硅氧烷制成；粘結(jié)層（2）采用環(huán)氧樹脂膠粘劑制成；金屬圖形結(jié)構(gòu)層（3）采用鋁或銅制成；柔性封裝層（4）采用聚二甲基硅氧烷制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性掩膜板，其特征在于，媒介層（5）采用聚甲基丙烯酸甲酯制成。