[實用新型]傾斜式真空磁控連續生產線和真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201320243235.4
• 申請日: 2013-05-07
• 公開（公告）號: CN203360568U
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 謝建軍
• 申請（專利權）人: 深圳市生波爾機電設備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

1.一種傾斜式真空磁控連續生產線，包括機架和安裝在該機架上的真空室體，所述真空室體包括依次順序相連的兩個前緩沖室、鍍膜室和兩個后緩沖室，所述機架上還安裝有貫穿上述真空室體的傳送帶，該傳送帶上設有運載基片的金屬框，其特征在于，?

所述金屬框的框體與水平方向呈一傾斜角度，且該傾斜角度為4-15°；所述金屬框內還設有多根相互垂直的隔梁，該隔梁將所述金屬框內分隔成多個方塊形狀組成的柵格形結構。?

2.如權利要求1所述的傾斜式真空磁控連續生產線，其特征在于，所述真空室體與水平方向呈一傾斜角度，且該傾斜角度為4-15°。?

3.如權利要求2所述的傾斜式真空磁控連續生產線，其特征在于，所述真空室體還包括位于所述兩個前緩沖室之前的進片室，及位于所述兩個后緩沖室之后的出片室。?

4.如權利要求1所述的傾斜式真空磁控連續生產線，其特征在于，所述傳送帶為環形傳送帶，包括貫穿于所述真空室體內的室內段及在所述真空室體外的室外段；所述室內段和所述室外段組成完整的環形。?

5.如權利要求3所述的傾斜式真空磁控連續生產線，其特征在于，所述進片室與所述前緩沖室之間、所述前緩沖室與所述前緩沖室之間、所述后緩沖室與后緩沖室之間、所述后緩沖室與所述出片室之間均設有門閥。?

6.一種真空鍍膜機，其特征在于，包含如權利要求1至6中任一項所述的傾斜式真空磁控連續生產線。?