[實用新型]光刻膠噴涂裝置和光刻膠噴涂系統

有效

• 申請號: 201320242042.7
• 申請日: 2013-05-07
• 公開（公告）號: CN203275872U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 陳寧;劉興東
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B05B9/03;B05B13/02
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;陳源

技術領域

本實用新型設計光刻膠的噴涂，具體地，涉及一種光刻膠噴涂裝置和一種包括該光刻膠噴涂裝置的光刻膠噴涂系統。

背景技術

在顯示面板的生產過程中，需要經過薄膜沉積、光刻和刻蝕三個環節。其中光刻環節包括噴涂光刻膠、曝光和顯影三個階段。目前的光刻膠噴涂裝置包括儲液瓶、加壓裝置和噴頭。當儲液瓶內存儲有光刻膠時，利用加壓裝置向儲液瓶內加壓，通過壓力將光刻膠供給到噴頭中，然后從噴頭中噴射出。這種結構的光刻膠噴涂裝置結構復雜，成本較高。而一套光刻膠噴涂系統中往往包括多個光刻膠噴涂裝置，這進一步增加了光刻膠噴涂系統的總體成本。

因此，如何降低光刻膠噴涂裝置的成本成為本領域亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種光刻膠噴涂裝置和一種包括該光刻膠噴涂裝置的光刻膠噴涂系統，所述光刻膠噴涂裝置結構簡單、成本較低，可以降低整個光刻膠噴涂系統的成本。

作為本實用新型的一個方面，提供一種光刻膠噴涂裝置，該光刻膠噴涂裝置包括儲液瓶和噴頭，所述儲液瓶上設置有出口，所述噴頭與所述儲液瓶的出口相連，其中，所述出口位于所述儲液瓶的底部，所述噴頭位于所述出口的下方，所述儲液瓶上還設置有將所述儲液瓶的內部與該儲液瓶的外部連通的氣孔。

優選地，所述氣孔位于所述儲液瓶的底部，所述光刻膠噴涂裝置還包括通氣管，該通氣管的一端穿過所述氣孔進入所述儲液瓶內部，所述通氣管的另一端位于所述儲液瓶的外部。

優選地，所述光刻膠噴涂裝置還包括連接在所述噴頭和所述出口之間的出液管，該出液管上設置有用于將所述噴頭和所述出口選擇性地連通的第一開關閥。

優選地，所述第一開關閥為電磁閥，所述光刻膠噴涂裝置還包括控制器，該控制器與所述第一開關閥電連接。

優選地，所述光刻膠噴涂裝置還包括用于檢測待噴涂物體的傳感器，該傳感器與所述控制器電連接，所述控制器能夠根據所述傳感器發出的信號控制所述第一開關閥。

優選地，所述出液管包括柔性部，所述光刻膠噴涂裝置還包括擠壓機構，所述柔性部設置在所述第一開關閥上游，所述擠壓機構作用在所述柔性部上，以對所述柔性部進行擠壓。

優選地，所述光刻膠噴涂裝置還包括使得所述柔性部選擇性地與所述出口連通的第二開關閥，該第二開關閥設置在所述出液管上，并位于所述柔性部的上游。

優選地，所述第二開關閥為電磁閥，且所述第二開關閥與所述控制器電連接。

優選地，所述擠壓機構包括擠壓輪和沿所述柔性部的長度方向延伸的支撐件，所述柔性部設置在所述擠壓輪和所述支撐件之間，所述擠壓輪與所述控制器電連接，使得所述擠壓輪能夠沿所述柔性部的徑向方向和所述柔性部的長度方向移動。

作為本實用新型的另外一個方面，還提供一種光刻膠噴涂系統，該噴涂系統包括多個光刻膠噴涂裝置，其中，多個所述光刻膠噴涂裝置中的至少一個為本實用新型所提供的上述光刻膠噴涂裝置。

在本實用新型所提供的光刻膠噴涂裝置中，噴頭位于儲液瓶的出口的下方，且儲液瓶上設置有將儲液瓶的內部與儲液瓶的外部相連通的氣孔，因此，儲液瓶內液體可以借助大氣壓力和儲液瓶內液體自身的重力流向噴頭，并從噴頭中噴出。本實用新型所提供的光刻膠噴涂裝置結構簡單，成本低，從而降低了包括本實用新型所提供的光刻膠噴涂裝置的光刻膠噴涂系統的總體成本。

附圖說明

附圖是用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的具體實施方式一起用于解釋本實用新型，但并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型所提供的光刻膠噴涂裝置的第一種實施方式的示意圖；

圖2是本實用新型所提供的光刻膠噴涂裝置的第二種實施方式的示意圖。

附圖標記說明

10：儲液瓶???????????????????20：噴頭

30：通氣管???????????????????40：出液管

41：柔性部???????????????????51：第一開關閥

52：第二開關閥???????????????60：控制器

70：傳感器???????????????????81：擠壓輪

82：支撐件???????????????????100：基板

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限制本實用新型。